研究所概況
中國科學院微電子研究所在新的歷史時期，中國科學院微電子研究所作為中國科學院“知識創新工程”試點單位，秉承“惟精惟一、求是求新”的辦所精神，確立了當前的辦所方針和發展目標；打造現代化的高技術研究機構。面向國家在微電子領域的戰略需求，加強關鍵技術創新與集成，承擔重點科技攻關與產品開發；面向產業發展需求，建設開放平台，通過全方位合作積極推進成果的套用開發和產業化；拓展前沿技術與基礎研究領域，發展交叉學科方向，成為我國IC技術和產業領域一個技術創新基地和高素質高層次人才培養基地，為促進國家微電子技術進步和自主創新，實現產業的可持續發展作出貢獻。
多年來，中國科學院微電子研究所與國內外眾多的高校、科研機構和企業開展了全方位的合作與交流，在中國微電子領域擁有廣泛的影響。為直接服務於社會，微電子研究所還根據產業發展和市場需求，通過技術服務、成果轉讓和產品銷售面向市場，進行成果轉化。1998年4月、2002年6月微電子研究所分別通過了ISO9002及ISO9001(2000版)質量體系認證。
組織機構沿革
中國科學院微電子研究所二、1960年10月～1965年9月（歸中科院半導體所建制）
三、1965年9月～1967年4月（歸中國科學院建制）
四、1967年4月～1974年12月（歸國防科委十四院建制）
五、1975年1月～1986年4月（歸中國科學院建制）
六、1986年，一〇九廠與半導體所的微電子學研究部分合併，成立中國科學院微電子中心（歸中國科學院建制）
七、2003年，更名為微電子研究所（歸中國科學院建制）
109廠階段
第一屆領導班子及組織機構（1958年～1960年）
隸屬單位：中國科學院物理研究所
廠長：唐生金
副廠長：王振玉、孫有忱（負責北郊基建）、張明清（1960年4月來廠）、李玉海（1960年5月來廠）
黨支部書記：莊蔚華（1958年11月止）
下設機構：黨委辦公室、團委辦公室、工會辦公室、廠長辦公室、供銷科、財務科、計畫科、人保科、總務科、技術科、一至十二車間、中心室、圖書館
第二屆領導班子及組織機構（1960年～1965年）
隸屬單位：中國科學院半導體研究所（根據（60）院字第189號發文，自1960年9月6日起，以中國科學院物理研究所半導體研究室為基礎，成立中國科學院半導體研究所。）
廠長：唐生金（兼黨總支書記，1962年調回物理所）、方明（半導體所副所長，兼管109廠到1963年）、周振恆（1964年4月來廠）
副廠長：李玉海（兼黨總支副書記）、張明清、孫有忱（1962年回所）、王振玉（1961年回所）、王忠（1965年5月來廠）
下設機構：總工程師室、厂部辦公室、黨委辦公室、設計室、工藝室、技術檢驗室、機械設備設計室、圖書資料管理室、總務科、計畫科、供銷科、財務科、人事科、保衛科、材料車間、器件試製車間、器件生產車間、機械與管殼車間、測試分析裝配車間、動力車間
第三屆領導班子及組織機構（1965年～1967年）
中國科學院微電子研究所廠長：周振恆(兼黨委書記)、王忠(黨委副書記)
副廠長：李玉海、張明清
院派工作組組長：俞健新
下設機構：廠辦公室、計畫科、供銷科、財務科、人事保衛科、總務科、黨委辦公室、器件生產車間、器件試製生產車間、材料車間、測試分析裝配車間、機械與管殼車間、動力車間、總工程師室、設計科、工藝科、技術檢驗室、機械設備設計室、圖書資料管理室
第四屆領導班子及組織機構（1967年～1974年）
隸屬單位：國防科委十四院（自1967年5月17日起實行軍事管制）
廠長：周振恆（兼黨委書記）、王忠（黨委副書記）
副廠長：李玉海、張明清、李榮昌、周豐年（新鄉713廠搞基建）
1967年軍管小組組長：汪大來
副組長：王宏邦
1971年軍管小組組長：郭月中
副組長：呂光錄、閆成錄、王開旗
1968年4月工宣隊進駐109廠
工宣隊隊長：姚遠利
1968年6月成立“革命委員會”
革命委員會副主任：徐申、何平江
中國科學院微電子研究所下設機構：政治部（下設組織（黨團）科、宣傳科、人事科、保衛科）、科研生產處（下設計畫科、新技術科、情報資料室）、後勤處（下設管理科、物資供應科、財務科、衛生所）、廠辦公室、一車間、二車間、三車間、四車間、五車間、六車間、七車間、八車間
第五屆領導班子及組織機構（1975年～1980年）
隸屬單位：中國科學院（根據（75）科發辦字509號文，自1975年起，109廠（含新鄉工地）劃歸中國科學院建制）
廠長：周振恆(後為顧問)、李德仲(1978年8月來廠)
副廠長：張明清(後為顧問)、王忠(後為顧問)、李榮昌、周豐年、李培生
1975年院派工作組組長：張俊千
副組長：丁波
1976年院派工作組組長：張征秉
副組長：何平江
1977年院派核心小組組長：曹文俊
副組長：王志遠
1978年院派核心小組組長：肖振華
下設機構：廠辦公室、黨委辦公室、人事科、保衛科、計畫科、總工程師辦公室、技術科、教育科、引進辦公室、器材科、基建辦公室、行政科、食堂科、運輸科、財務科、人防辦公室、醫務室、一車間、二車間、三車間、四車間、六車間、七車間、管殼車間、研究室、檢驗科
第六屆領導班子及組織機構（1980年～1986年）
隸屬單位：中國科學院
廠長：王守武
黨委第一書記：劉再生（1980年～1982年）
第二書記：張育英（1980年～1982年）
黨委書記：鄧彪（1982年～1986年）
黨委副書記：於述芳、周先路（兼紀委書記，1983年～1986年）
副廠長：張育英（1980年～1982年）、劉茂章、周豐年、張鍾達
下設機構：一分廠、二分廠、廠辦公室、黨委辦公室、紀委、工會、團委、調研室、人事處、保衛處、生產經營處、器材處、總工程師辦公室、行政處、財務科、基建辦公室、勞動服務公司、廠家屬委員會、設計室、理化室、新品室、電子技術室、前工序車間、後工序車間、測試車間、機動車間、金工車間、檢驗科、工藝室
微電子中心階段
中國科學院微電子研究所根據（86）科發計字0037號發文，至1986年1月16日起，成立中國科學院微電子研究中心，109廠的建製取消。
第一屆領導班子及組織機構（1986年～1989年）
隸屬單位：中國科學院
名譽主任：王守武
中心主任：沈世鋼
技術顧問：林蘭英、王守覺
黨委書記：張鍾達
副書記：周先路
副主任：馬俊如、劉茂章、周豐年、吳德馨、周先路
下設機構：中心辦公室、黨委辦公室、開發處、器材處、人事處、保衛處、行政處、財務室、總工辦、超大規模積體電路研究室、新工藝新技術研究室、新器件研究室、CAD研究室（計算機輔助設計研究室）、CAM（計算機輔助製版研究室）、微電子情報研究室、理化分析研究室、第一工藝線、工藝室、第三工藝線、第四工藝線
第二屆領導班子及組織機構（1989年～1993年）
隸屬單位：中國科學院
名譽主任：王守武
中心主任：趙玉成（1989～1991年）、吳德馨（1991～1993年）
黨委書記：鄧彪（1989～1992年）、張鍾達（1992～1993年）
副書記：孫長富（1989～1992年）、嚴福寧（1992～1993年）
常務副主任：鄧彪
副主任：仇玉林、駱國良、劉茂章、何晉、楊盛溶
下設機構：綜合辦公室、黨委辦公室、科技處、開發處、器材處、人事處、保衛處、行政處、財務處、大規模積體電路及其工藝技術研究室、CAD研究室、亞微米微細加工技術研究室、前工藝線、後工藝線、新品室、測試室、理化分析室、動力運行站
第三屆領導班子及組織機構（1993年～1997年）
隸屬單位：中國科學院
名譽主任：王守武
中心主任：吳德馨
黨委書記：張鍾達（1993年～1994年）、嚴福寧（1996年～1997年）
副書記：嚴福寧（1993年～1996年）
副主任：仇玉林、龔義元、張健欣（1993年～1996年）、錢鶴（1995年～1997年）、嚴福寧
中國科學院微電子研究所第四屆領導班子及組織機構（1997年～2001年）
隸屬單位：中國科學院
名譽主任：王守武
中心主任：仇玉林
常務副主任：龔義元
黨委書記：嚴福寧
副主任：嚴福寧（兼）、錢鶴、劉勁翔
下設機構：中心辦公室、黨群辦公室（1999年合併至中心辦公室）、城區辦公室、科學技術與研究開發處、人事教育處、行政處、財務處、器材處、矽器件與積體電路研究室、積體電路設計研究室、微細加工研究室、前工藝線、後工藝線、理化分析室、動力運行站
第五屆領導班子及組織機構（2001年～2003年）
隸屬單位：中國科學院
名譽主任：王守武
中心主任：錢鶴
黨委書記：譚福安
副書記：葉甜春（兼紀委書記）
下設機構：中心辦公室（黨委辦公室）、科學技術與研究開發處、質量採購處（2002年成立）、人事教育處、財務處、行政處、矽器件與集成技術研究室、積體電路設計研究室、微細加工與納米技術研究室、化合物半導體器件研究室、通信與多媒體SOC研究室，前工藝線、後工藝線、動力運行站
微電子所階段
中國科學院微電子研究所第一屆領導班子及組織機構（2003年～2005年）
隸屬單位：中國科學院
所長：錢鶴
黨委書記：譚福安
副書記：葉甜春（兼紀委書記）
副所長：葉甜春、黃曉蘭、譚福安（兼）
下設機構：所（黨委）辦公室、科技處、人事教育處、質量採購處、財務處、矽器件與集成技術研究室、積體電路設計研究室、微細加工及納米技術研究室、化合物半導體器件研究室、通信與多媒體SOC研究室、前工藝線、後工藝線、動力運行站
第二屆領導班子及組織機構（2005年至今）
隸屬單位：中國科學院
所長：錢鶴（2005年6月～2006年6月）、葉甜春（2007年7月至今）
黨委書記：譚福安（2005年10月～2006年4月）、李培金（2006年4月至今）
副書記：葉甜春（2005年10月～2006年7月）
副所長：葉甜春（2005年6月～2007年7月）、譚福安（兼）（2005年6月～2006年4月）、周玉梅（2006年8月至今）、李培金（兼）（2006年至今）
下設機構：所辦公室、黨委辦公室&信息中心、科技處、人事教育處、財務處、資產管理處、矽器件與集成技術研究室（一室）、專用積體電路與系統研究室（二室）、微細加工與納米技術研究室（三室）、微波器件與積體電路研究室（四室）、通信與多媒體SOC研究室（五室）、電子系統總體技術研究室（六室）、電子設計平台與共性技術研究室（七室）、微電子設備技術研究室（八室）
現任所領導
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學術委員會
中國科學院微電子研究所副主任： 葉甜春 陳杰
委員：仇玉林 劉訓春 徐秋霞 海潮和 陳寶欽 夏洋 韓鄭生 周玉梅 劉明 劉新宇 閻躍鵬 葉青 張海英 陳大鵬
秘書：施冰 李榮敏
吳德馨
姓名： 吳德馨（博士生導師）
職稱： 研究員、中國科學院院士（學部委員）
出生年月： 1936年12月
畢業院校： 1961年畢業於清華大學無線電電子工程系
研究方向：半導體器件和積體電路
工作經歷：
曾任國家重大科技攻關課題負責人；攀登計畫首席科學家；國家重大基礎研究顧問專家組成員；中科院學部主席團成員；中國電子學會常務理事；半導體與集成技術分會主任；第九屆、十屆全國人大常委會委員和教科文衛委員會委員等職務。
研究領域：
主要從事化合物半導體異質結電晶體和電路的研究，包括0.1微米砷化鎵/鋁鎵砷異質結高遷移率場效應電晶體、砷化鎵/銦鎵磷HBT電晶體，氮化鎵/鋁鎵氮異質結場效應功率電晶體和研製成功砷化鎵/銦鎵磷HBT光發射驅動電路。
所獲榮譽：
在國內率先提出了利用MEMS結構實現雷射器和光纖的無源耦合。並研究成功工作速率達10Gbps的光發射模組。其中“先進的深亞微米工藝技術及新型器件”獲2003年北京市科學技術一等獎。
獨立自主開發成功全套0.8微米CMOS工藝技術。獲1998年中科院科技進步一等獎和1999年國家科技進步二等獎。作為國家攀登計畫首席科學家負責“深亞微米結構器件及介觀物理項目研究。開展了12項課題的研究。為介觀物理基礎和新結構器件的進一步研究打下基礎。
作為工藝負責人研究成功N溝MOS4K、16K動態隨機存儲器和成品率的提高。獨創了檢驗接觸孔質量的露點檢測法。並推廣到上海器件五廠。分別獲得1980和1981年中科院科技成果一等獎兩次。負責平面型高速開關管的研究，獨立解決了提高開關速度的關鍵問題，並推廣至上海器件五廠和109廠，為兩彈一星採用的109計算機提供器件基礎。獲國家新產品一等獎。
2004年，獲何梁何利技術科學獎。
組織結構
中國科學院微電子研究所矽器件與集成技術研究室
中國科學院微電子研究所矽器件與集成技術研究室前身是中國科學院半導體所的大規模積體電路技術研究室，在王守武院士、吳德馨院士等老一代科學家關懷和領導下不斷發展壯大，為國家微電子事業作出了重大貢獻。在微電子中心不同階段，曾使用過“第一研究室”、“大規模積體電路技術研究室”、“深亞微米積體電路技術研究室”等名稱。
研究室目前致力於矽基積體電路工藝技術及MEMS技術研究，在CMOS工藝技術研發方面具有雄厚的實力。長期從事CMOS先導工藝技術研究，取得了多項代表國家IC工藝研究水平的成果。是國內最早製造霍爾電路和VDMOS器件的單位。
研究室具有正副研究員７名（其中博士導師4名），和一批具有豐富實踐經驗的助理研究員、工程師及實驗師，在讀博士生及碩士生。培養畢業碩士、博士生80人已畢業42人。在近3年中發表論文160餘篇，申請專利16項。研究室擁有一個CMOS/MEMS工藝實驗室，下設SOI積體電路、CMOS工藝技術、MEMS，高性能功率器件四個課題組。
在國家“六五”科技攻關中，出色地完成了4KDRAM、16KDRAM和64KDRAM的研製；在國家“七五”科技攻關期間，完成了“定製、半定製積體電路設計與製造”，“1～1.5μm新工藝、新器件”結構的探索性研究等重大研製項目；在國家“八五”科技攻關中，自主開發成功了“0.8微米積體電路晶片製造技術”，並套用此技術研製成集成度為7000門的通用模糊控制器電路和雙層金屬布線的高速時鐘驅動電路；在“九五”期間，開發了0.18和0.25微米CMOS積體電路關鍵工藝技術，並用以研製成功千門級實用電路、性能良好的0.1微米CMOS器件及環振電路、大規模SOI/CMOS實用電路。
在高性能功率器件方面，“八五”與“九五”期間承擔多項科技攻關，形成系列功率VDMOS產品，量產晶片大量投放市場，獲得一項“八五”攻關重大成果獎與多項院級科技進步獎。
2004年，高性能柵長27納米CMOS器件及關鍵工藝技術研究獲北京市科學技術一等獎。2005年，亞30納米CMOS器件相關的若干關鍵工藝技術研究獲國家技術發明二等獎。
該室現在具有HP82000、SK7000B線性/數字積體電路測試儀及1034自動探針台等測試設備。
專用積體電路與系統研究室
中國科學院微電子研究所研究室現有21名專業技術人員，其中研究員、副研究員6人，研究關注高速數位訊號處理、低功耗設計、高性能模擬與射頻積體電路設計。
2004年成功研發專用DSP，峰值運算能力為256億次累乘加/秒，達到國際水平。在近5年裡發表論文78篇，申請專利26項，承擔ICSICT-2006國際會議“RF/mixed-signalUltrawidebandTransmitter”分會聯合主席。國際會議邀請報告4次。培養畢業碩士、博士研究生18人。
研究室下設：實時信號處理實驗室、混合信號實驗室、CMOS射頻模擬電路實驗室。
科技成果
中國科學院微電子研究所所宗旨
中國科學院微電子研究所形象標識
所標涉及創意說明：
標誌以菱形為主體充分體現出研究所團隊的嚴謹與理性，同時相疊的菱形代表了微電子產品，向右形成的兩個充滿力量的箭頭，表明了研究所在微電子領域中勇於探索、不斷鑽研與開拓的精神。箭頭向細變化，表現了產品向著更細、更精發展的物理特點。標誌中心快速運動的線條，是微電子技術飛速發展的寫照，表現出我所要在不斷發展中求平穩、求創新的精神。
中英文簡稱橫式組合比例圖：
中國科學院微電子研究所標識與中英文簡稱標準字橫式組合是套用最為廣泛的組合形式，在正式場合使用極具莊重感。
橫式標準組合比例圖示明了標誌與標準字橫與豎的比例關係，並設定了一個單位為b，便於今後的放大套用。
