研究室簡介
中國科學院微電子研究所納米加工與新器件集成技術研究室（三室）在國內最早開展亞微米微細加工技術研究，該研究室同時也是國家納米科學中心協作實驗室。研究室擁有面積達500平方米的微納米加工平台和電子束光刻公共平台，主要研究方向有納米加工與先進掩模製造技術、新型存儲器技術、納米尺度衍射光學元件、有機器件和電路、新型高效太陽能電池、微納感測與套用。目前實驗室有固定人員30人，包括研究員4人（含中科院“百人計畫”入選者1人），副研究員及高級工程師5人，助理研究員及工程師8人，技術支持人員11人, 返聘人員2名。在學碩士、博士研究生40人，現任研究室主任是劉明研究員。
實驗室擁有從十級到萬級超淨面積500平方米，完善的基於完整的“自上而下”納米加工設備，一條完整的深亞微米、納米加工實驗研究線已經形成，各種先進加工設備和檢測設備共有20多台，總共價值1億多元；建立了國內最早的納米加工實驗平台，裝備了解析度30nm的JEOL JBX-5000LS電子束光刻系統和解析度15nm的JEOL JBX-6300FS電子束光刻系統，解析度350nm的MEBES 4700電子束製版系統和JBX-6AII電子束製版系統、光學製版系統、高密度電漿刻蝕機、電子束鍍膜系統、高溫PECVD、原子層沉積系統ALD、光學曝光機等先進加工設備，檢測設備包括JEOL 6401電子顯微鏡，Keithley 4200-SCS 半導體特性分析系統、Keithley 590CV測試儀、Cascade RF-1探針台、共聚焦光學顯微鏡、台階儀、多功能變溫射頻微區物性測試系統和衍射光學元件檢測系統等。
實驗室2006年起成為國家納米科學中心協作實驗室，與國內外科研院所開展了廣泛的合作。國內合作夥伴主要有中科院物理所、化學所、半導體所、微系統所、清華大學、北京大學、天津大學、電子科技大學、香港科技大學、國家納米中心、科通集團、中電集團等。國際上分別與丹麥科技大學DACHIP實驗室、美國紐約州立大學Albany分校、英國盧瑟福國家實驗室微結構中心、法國國家科學研究中心、日本國立北海道大學量子電子學集成研究中心等科研團體展開合作，每年定期邀請多名國內外知名學者來實驗室進行交流合作。
學科方向
納米加工與先進掩模製造技術
開展下一代光刻技術和相關理論的研究;開展了電子束和x-射線曝光技術的研究（發展成套的電子束曝光工藝模擬：電子散射、顯影模型等）;開展低成本納米結構製造技術（不同襯底材料的壓印模板的研究、研製了納米壓印裝置）;探索納米加工在納米器件中的套用（聲表面波濾波器和感測器）。
開發了靈活的圖形編輯軟體，開展了先進的光學移相掩模研究,為國家重大項目提供了成套掩模，服務於航天、國防科技的重大科研任務。十五期間完成了國家863重大專項“100nm步進投影光刻機研製”中的關鍵技術“100nm移相掩模分系統技術設計”，同時為該重大項目提供了成套測試掩模。開展了X射線、EUV和scalpel掩模模板方面的探索工作。負責制定了七項微光刻技術的國家標準，正在承擔6項國家標準的制定。
新型存儲器技術
開展新型存儲介質材料、高k介質材料與新型電極材料的研究，金屬納米晶非揮發性存儲器件關鍵技術研究，納米尺度下存儲單元的關鍵電學、熱學和結晶學特徵與過程的仿真模型研究，開發高速、高密度、低功耗的讀寫驅動電路、動態電壓技術和靈敏放大技研究，並與工業界密切外合作。
針對慣性約束聚變、空間譜儀和大型X射線天文望遠鏡等關係國家安全和重大科學工程的需要，開展X/EUV波段的衍射光學元件的研製和在重大工程中套用的研究；開展新原理納米尺度直寫製備的器件設計、系統搭建和前期工藝研究；開展先進EUV光刻掩模製造技術研究。
最外環200nm、厚度2.8μm的硬X射線波帶片
兼容現有CMOS工藝、可集成的結構，開展有機器件、柔性顯示器件、有機場效應電晶體（OFET）和電路納器件的材料、模型、設計、關鍵加工工藝、和集成技術研究。
基於bsh質子轉移雙穩態分子的交叉陣列
微納感測與套用
現階段重點研究聲表面波濾波器和新型感測器的材料製備、設計、系統集成及其在系統檢測中的套用。
科研實力
目前實驗室有固定人員20人，包括研究員4人（含中科院“百人計畫”入選者1人），副研究員及高級工程師4人，助理研究員及工程師5人，技術支持人員6人, 返聘人員1名。在學碩士、博士研究生27人，現任實驗室主任是劉明研究員。
實驗室擁有從十級到萬級超淨面積500平方米,完善了基於完整的“自上而下”納米加工設備，一條完整的深亞微米、納米加工實驗研究線已經形成;各種先進加工設備和檢測設備共有20多台，總共價值1億多元;建立了國內最早的納米加工實驗平台:裝備了解析度30nm的JEOL JBX-5000LS電子束光刻系統，解析度350nm的MEBES 4700電子束製版系統，JBX-6AII電子束製版系統,光學製版系統,反應離子刻蝕機，電子束鍍膜系統，光學曝光機等先進加工設備。檢測設備包括JEOL 6401SEM，Keithley 4200-SCS 半導體特性分析系統、Keithley 590CV測試儀、Cascade RF-1探針台、共聚焦光學顯微鏡、台階儀、多功能變溫射頻微區物性測試系統和衍射光學元件檢測系統等。
實驗室2006年起成為國家納米科學中心協作實驗室，與國內外科研院所開展了廣泛的合作。國內合作夥伴主要有中科院物理所、化學所、半導體所、微系統所、清華大學、北京大學、天津大學、電子科技大學、香港科技大學、國家納米中心、科通集團、中電集團等。國際上分別與英國盧瑟福國家實驗室微結構中心、法國國家科學研究中心、日本國立北海道大學量子電子學集成研究中心等科研團體展開合作，每年定期邀請多名國內外知名學者來實驗室進行交流合作。
