簡介
浙江大學微電子與光電子研究所1995年建立“微電子學與固體電子學”博士點,目前有教職員工23人,其中教授8人,博士生導師7人,副教授6人。2000年有一論文獲全國百篇優秀博士論文。研究所先後承擔國家重點基礎研究發展規劃(973)項目課題3項,“863”高科技項目5項,國家自然科學基金項目17項(其中重點項目兩項)等。
專業核心課程有半導體物理、微電子學(微電子器件與電路)、微電子工藝技術、數字/模擬積體電路設計。
特色
在功率器件與功率IC研究方面處於全國領先水平,並以模擬集成電路/數模混合積體電路以及新型半導體器件、ONCHIPESD設計為特色;在高速光調製器、光功分器、光開關等研究方面處於國內先進水平,特別在砷化鎵集成光學方面;擁有完整的光波導器件設計軟體和工藝實驗平台。在MEMS研究方面,先後研製成60Mpa大量程壓力感測器、微壓感測器、諧振器等微機械器件,在微陀螺和微加速度感測器研究方面形成了特色。在國內較早開展公斤量級微小衛星及其通信系統的研究工作,擁有完整的射頻通信設計軟體和測試設備。
研究方向
1.積體電路設計:數字、模擬、數模混合信號積體電路設計、集成功率器件與智慧型化功率模組設計。
2.微電子器件物理及新結構器件研究:積體電路和集成聲路兼容器件物理模型;用於通信技術的微波聲表面波器件物理;微機械微波電子學基礎研究。
3.晶片上靜電放電(OnChipESD)防護設計:HBM/MM/CDM等模式的OnChipESD防護設計;RFIC、納米IC和系統晶片SOC的ESD防護設計。
4.感測電子學和薄膜電子學研究:CMOS圖象感測器;CMOS光磁敏感測器;地址化矩陣單元集成生物晶片技術和器件;微機械微波聲橋感測器;薄膜集成感測器。
5.積體電路與系統套用技術:微機控制的儀器、儀表、自動控制系統、電子鎮流器系列產品;計算機網路及多媒體套用系統、資料庫及管理系統。
6.集成光學:基於GaAs等多種材料的光波導器件——光開關、調製器、功分器、密集波分復用器等集成光學理論與器件。
7.光電子技術與系統套用:光電檢測、感測技術和光電子技術套用,以及光通信系統套用和開發。
8.微/納電子機械技術(MEMS/NEMS)與感測器電子學:微機械工藝、微機械感測器、新型半導體器件,以及感測器處理電路的集成化、模組化技術。
9.射頻電路及射頻通信系統:衛星通信、無線區域網路等射頻通信系統,射頻系統的微型化、模組化及單片微波積體電路(MMIC)。
培養目標
本專業培養微電子領域具有寬厚理論基礎、實驗能力和專業知識,能在該領域從事微電子相關技術,包括各種積體電路、半導體分立器件的設計,新工藝研發和套用的複合型高層次人才。
培養要求
本專業學生主要學習微電子科學技術的基本物理規律、微電子器件與數字、模擬以及數模混合積體電路的設計方法,獲得微電子技術與系統實踐的基本訓練,具備從事微電子領域基礎研究、技術開發、工程設計的基本能力。畢業生應獲得以下方面的知識和能力:
1.具有紮實的自然科學基礎,較好的人文社科知識;
2.具有紮實的物理基礎,掌握相關學科基本原理,具有實踐經歷;
3.掌握微電子學和大規模積體電路設計製造的基本理論與技術;
4.具備獲取電子科學技術領域國內外新知識、新技術的能力;
5.具有一定的科學研究、開拓創新、技術管理的能力。