工作經歷
1986年9月-1992年2月 中國科學院微電子中心 助理工程師
1992年2月-1993年7月 日本理化學研究所 訪問學者
1993年7月-2001年5月 中國科學院微電子中心(工程師、副研究員、研究員,課題組長、研究室副主任)
2001年6月-2007年7月 中國科學院微電子研究所 副所長
2007年7月-至今,中國科學院微電子研究所 所長,中國科學院EDA中心常務副理事長
2017年11月-至今 大連理工大學兼職教授、大連理工大學國家示範性微電子學院院長
個人貢獻
長期從事積體電路製造技術、新型器件及微細加工技術領域的研究工作,作為課題負責人和核心骨幹完成了國家“七五”至“十五”攻關、攀登計畫、863、973、中科院知識創新工程等十幾項科研課題的研究任務
獲獎情況
獲得國家科技進步二等獎1項、中國科學院科技進步二等獎2項、北京市科技進步一等獎2項,榮獲得國家“八五”科技攻關先進個人、中國科學院青年科學家獎和優秀青年稱號。