耙材

耙材，簡單說的話，靶材（“耙材”的寫法不太通用）就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。

舉例

例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜技術和磁控濺射鍍膜技術的有效結合，可使設備的適用範圍更廣，方便到不同性能的膜層。適用在塑膠、陶瓷、金屬等材料上鍍制仿金膜、鋁膜等。
更換不同的靶材（如鋁、銅、不鏽鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。