概述
高純氣體對於不同類別的氣體，純度指標不同，例如對於氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等於或高於99.999%的為高純氣體；而對於氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對於碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體套用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配製混合氣的底氣。
高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體，
有機高純氣體
烷烴類：
甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、環丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、環氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、矽烷（SiH4）等；
烯烴類：
乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、異丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、順-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；
炔烴類：
乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；
其他：
二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸劑（C2H4O-CO2)等
無機高純氣體
1、空氣（Air）、氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、氬氣（Ar）、氦氣（He）、氖氣（Ne）、氪氣（Kr）、氙氣（Xe）等；
2、氨氣（NH3）、氯氣（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亞氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氫（HCl）、溴化氫（HBr）、硫化氫（H2S）等；
3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化矽（SiF4）、 四氯化矽（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等
常見高純氣體的用途
環氧乙烷可用作生產增塑劑、潤滑劑等；
氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發泡劑等；
氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉劑；
二甲醚可作噴氣推進劑、製冷劑、麻醉劑；甲硫醇用於合成染料、醫藥、農藥；
乙炔可直接用於金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等
