高純氣體系統用膜過濾器

高純氣體系統用膜過濾器(Usedin Filters) 整體進行氦漏試驗，氦漏率應為1027atmmLs。

高純氣體系統用膜過濾器(Usedin High Purity Gas System membrane Filters)
氣體工業名詞，由金屬孔板，絲網編織物或高分子材料製成膜的過濾器。它利用濾膜孔的攔截效應將大於濾膜孔徑的粒子攔截在膜的表面上。過濾效率高，可除掉0101Lm的塵埃和金屬粒子。可用作半導體氣體分配系統的終端過濾裝置。典型裝置的最高工作壓力為5MPa(37℃)，最高工作溫度120℃，氣流速度34Lmin(21℃)，壓力差410kPa。其包裝應在100級潔淨室內進行，以雙層袋包裝。內袋用純氮氣吹洗乾淨。整體進行氦漏試驗，氦漏率應為1027atmmLs。