高純氣體系統用限流安全切斷閥

Purity Safety 此類閥的入口壓力1～21MPa，工作壓差0。

高純氣體系統用限流安全切斷閥(Usedin High Purity Gas System Flow Limit Safety Shutoff valve)
氣體工業名詞，當流量超過設定值時可自動切斷流量。切斷閥通常安裝在氣源出口與減壓器之間。它對流過設定孔的壓力降敏感，當達到設定壓力差限時，閥門關閉。如果將啟動開關打開，使活塞上下壓力平衡，則又重新開始工作。此類閥的入口壓力1～21MPa，工作壓差0。42MPa，穩定性，重複性±10%；操作溫度-40℃～90℃。閥體的適用材料為316不鏽鋼，閥座為聚四氟乙烯和氟橡膠，彈簧為不鏽鋼。