高純氣體系統用針形閥

高純氣體系統用針形閥(Usedin System n Valve)

高純氣體系統用針形閥(Usedin High Purity Gas System needle Valve)
氣體工業名詞,是用來細調高純氣體流量的閥門,通常要求採用不鏽鋼材質,內漏及外漏速率均有嚴格要求,材質與氣體接觸的表面要經過特殊處理,以確保氣體通過時無粒子脫落且不吸附氣體;它具有針形的閥瓣和閥座。其調節精度主要取決於通徑和閥針錐度的大小。國外已實現氣體1mLh的精確控制。工作壓力可高達35MPa,適用溫度-60~232℃。

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