氣體工業名詞,是依據碰撞,擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉的裝置。積體電路發展到兆位級後,對超淨提出了更嚴格要求。semi標準對10011級以管道供給的氮和氬氣中規定≥011Lm粒子≤014個L;16MDRAM用氣中>011Lm的粒子<1個L。在超高純氣體或電子氣體供氣系統中,為了脫除由於振動或氣流衝擊所造成的脫落粒子,應在閥門和配件下游和使用氣前安裝過濾器。粒子過濾器的選型及規格視氣體控制規範而定。過濾器殼體一般採用316不鏽鋼,濾芯有燒結的多孔金屬濾芯,耐腐蝕耐熱的鎳基合金,100%鎳合金,鋁陶瓷,Teflon膜,陶瓷膜等。
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高純氣體系統用膜過濾器
高純氣體系統用膜過濾器(Usedin Filters) 整體進行氦漏試驗,氦漏率應為1027atmmLs。
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高純氣體系統用陶瓷過濾器
System Ceramic Filters)
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標準氣體
標準氣體為氣體工業名詞。標準物質是濃度均勻的,良好穩定和量值準確的測定標準,它們具有復現,保存和傳遞量值的基本作用,在物理,化學,生物與工程測量領域中用...
功能用途 製備方法 混勻技術 穩定性 配製分類 -
電子氣體
氣體工業名詞,半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用於外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主...
簡介 發展趨勢 系統 -
氣體分離設備
氣體分離設備是指將氣體液化、精餾、最終分離成為氧、氮和其他有用氣體的設備。 氣體分離設備是由多種機械和設備組成的成套設備,常按空氣壓力來分類。常用的有高...
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氣體管路
氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連線管線,一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調節閥等部分組成。輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原...
供氣方式 材質要求 系統設計 注意事項 -
氣體保護站
氣體保護站,本氣氛保護系統專為鍍鋅鋼帶連續退火爐提供保護氣體。產品氣組份為氮氣與氫氣可調配比氣,是一種良好的還原性氣體。
設計思路 設計規模 原理 氮氫配比系統 -
氨氣純化系統
氨氣純化系統是是以工業一等品液氨(液氨等級劃分見表2)為原料,利用各種純化淨化手段生產高純氨。採用的純化方法視工業氨中所含雜質的種類、數量、性質和其最終...
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氣路系統
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簡介 分類 特點