高純氣體系統用氣體過濾器

高純氣體系統用氣體過濾器(Usedin 氣體工業名詞,是依據碰撞,擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉的裝置。 在超高純氣體或電子氣體供氣系統中,為了脫除由於振動或氣流衝擊所造成的脫落粒子,應在閥門和配件下游和使用氣前安裝過濾器。

高純氣體系統用氣體過濾器(UsedinHighPurityGasSystemGasFilter)
 氣體工業名詞,是依據碰撞,擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉的裝置。積體電路發展到兆位級後,對超淨提出了更嚴格要求。semi標準對10011級以管道供給的氮和氬氣中規定≥011Lm粒子≤014個L;16MDRAM用氣中>011Lm的粒子<1個L。在超高純氣體或電子氣體供氣系統中,為了脫除由於振動或氣流衝擊所造成的脫落粒子,應在閥門和配件下游和使用氣前安裝過濾器。粒子過濾器的選型及規格視氣體控制規範而定。過濾器殼體一般採用316不鏽鋼,濾芯有燒結的多孔金屬濾芯,耐腐蝕耐熱的鎳基合金,100%鎳合金,鋁陶瓷,Teflon膜,陶瓷膜等。

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