高純氣體系統用膜片閥

高純氣體系統用膜片閥(Usedin System membran

高純氣體系統用膜片閥(Usedin High Purity Gas System membrane Valve)
　氣體工業名詞，其工作原理是由與手輪一起轉動的閥桿將閥頭壓下，使閥關閉。靠彈簧和氣壓將閥頭抬起，使閥開啟，膜片將介質與大氣隔開。其優點是密封性好，可靠，死區小，其死區體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易於排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質中，具有可以同時滿足高壓，真空，高低溫的綜合性能。膜片或截止閥工作壓力可達21MPa，適用溫度-54～316℃，漏氣速率1。33×10-7PaLs。