高純氣體系統用吹洗組件

高純氣體系統用吹洗組件 氣體工業名詞術語。 吹洗組件有“T”形，“Z”形，“+”形吹洗組件。

高純氣體系統用吹洗組件
氣體工業名詞術語。電子氣體大都是有毒或腐蝕性氣體，在更換電子氣體鋼瓶時，必須先用惰性氣體吹掃管路，以避免毒性或易燃氣體逸出，以防中毒和污染環境；同時可防止由於空氣中的水分和氧氣進入管路系統而導致系統被腐蝕和污染。每一個組件包括一個單向閥和一個切斷閥，以防鋼瓶氣返流進入吹掃氣源。吹洗組件有“T”形，“Z”形，“+”形吹洗組件。材質採用316或316L不鏽鋼。