熱處理裝置

熱處理裝置，一種結構簡單、可抑制使伴隨著基板的熱處理而產生的生成氣體冷卻而產生的所謂升華物的發生的熱處理裝置，在熱處理時加熱混合氣體只需很少的耗電量。

定義

一種結構簡單、可抑制使伴隨著基板的熱處理而產生的生成氣體冷卻而產生的所謂升華物的發生的熱處理裝置。

熱處理裝置

(1)包括具有用於向基板處理部(5)供給熱風的熱風供給部件(14)的空氣調整部(11)、以及用於對基板進行熱處理的熱處理室(12)。熱處理裝置(1)配置有催化壁(40)，載持有促進在熱處理室(12)的最下游一側、當處理基板時所產生的生成氣體的氧化分解的催化劑。因此，熱處理裝置(1)因冷卻生成氣體而產生的所謂的升華物的產生量極低。此外，由於在生成氣體氧化分解時會產生反應熱，所以熱處理裝置(1)在熱處理時加熱混合氣體只需很少的耗電量。