步進式熱處理裝置

步進式熱處理裝置。根據步進式熱處理裝置10，由於在用於協作地輸送共通的基板16的固定梁(第1梁)20以及可動梁(第2梁)22中位於外側的固定梁20上，具備與由該固定梁20所支撐的基板16的側緣相配合而導引該基板16的橫嚮導引突起74，因此可以很好地防止通過固定梁20以及可動梁22的協作而被輸送的基板16的偏移、脫落。
步進式熱處理裝置，它是具備交替地進行爐長方向的相對移動和上下方向的相對移動的第1梁以及第2梁、和加熱爐的步進式熱處理裝置，其中所述的加熱爐具有用於對通過該第1梁以及第2梁的協作而被輸送的基板進行輻射加熱的加熱體，其特徵在於： 在用於協作地輸送基板的上述第1梁以及第2梁中的位於外側的樑上，具備與由該梁所支撐著的基板的側緣相配合而導引該基板的橫嚮導引突起。