精儀概述
清華大學精密儀器系是我國歷史最悠久的工程學科院系之一，80載春秋的發展歷史，孕育和形成了我系積極進取、銳意改革、精益求精的優良傳統。在老一輩教師及學科同仁們的辛勤工作和共同努力以及學校的大力支持下，緊扣學科發展脈搏、重視人才培養、服務社會需求，學科不斷發展壯大，成為支撐清華大學工學學科建設的重要力量。
我系涵蓋儀器科學與技術、光學工程兩個一級學科，各學科在全國評估中均名列前茅。建有1個國家重點實驗室和1個國家工程研究中心，及國家級示範教學基地，是全國國家級教學科研機構最多的系。擁有一隻強有力的光、電、控多學科交叉的教學科研隊伍，包括中國工程院院士2人，教育部“長江學者”獎勵計畫特聘教授2人，國家“千人計畫”教授3人，國家傑出青年基金獲得者7人。這些條件，為培養多學科交叉的創新性人才，開展創新性的科學研究提供了良好支撐。
全系建有“精密測試技術與儀器”國家重點實驗室“光碟”國家工程研究中心、智慧型微系統教育部重點實驗室、高精度導航技術教育部重點實驗室、生物醫學檢測技術及儀器北京實驗室以及微米納米技術研究中心、宇航技術研究中心等。全系科研堅持為國民經濟服務和跟蹤世界科技發展前沿，每年承擔國家重點科技攻關項目、973 基礎研究項目、863 高技術項目、國家自然科學基金項目及其它科技開發項目等近百項。70 年代，研製開發了分步重複自動照相機、圖形發生器、光刻機、電子束曝光機工件台等半導體設備，其中“分步相機”套用於全國100 多個廠家，受到好評；研製了多種磁碟測試儀器，促進了我國電子工業的發展“七五”、“八五”;期間，光/ 熱效應型可直接改寫光碟技術研究獲得國家發明二等獎。“九五”、“十五”期間，微米、納米技術取得了國際水平的研究成果。科研經費顯著增加，獲得國家級獎勵7 項，其中國家發明獎4 項，科技進步獎3 項。近年來研製成功國內第一顆微小衛星與納型衛星，2007-2012 年間，我系獲國家科技獎勵5 項，其中國家技術發明獎二等獎4 項，國家科技進步獎二等獎1 項。近5 年，獲得國家發明專利授權285 項，全系師生在國內外學術刊物及學術會議上共發表論文1212 篇，其中SCI 收錄論文387 篇，科研經費總量增長迅速，2014年達到1.5億多元，國家重大任務逐漸成為科研工作的主流。
全系十分重視開展國內外學術交流，和國外許多著名大學和研究機構保持著密切的聯繫和合作，已組織召開了多次國際學術會議，主辦了多次全國性的學術會議。
歷史印記
清華大學精密儀器系淵源於1932年成立的清華大學工學院機械工程學系，建系之初設立3個學科組，即原動力工程組、機械製造工程組、飛機及汽車工程組，經多年的發展和調整，逐步形成清華大學目前的精密儀器系、機械工程系、熱能工程系、汽車工程系和工業工程系。
1937年－1945年抗戰期間，機械工程學系隨學校南遷，先後在長沙臨時大學和西南聯合大學辦學，1946年回到北京清華園。
1952年，全國高等學校院系調整，北京大學和燕京大學的機械工程學系併入清華大學機械工程學系，並取消學院建制，同時機械工程學系分為機械製造系和動力機械系。機械製造系下設4個專業，即機械製造工藝、金屬切削工具機及其工具、鑄造機械及鑄造工程、金屬壓力加工及加工機械。1956年機械製造工藝專業與金屬切削工具機及其工具專業合併為機械製造工程專業（1957年易名為機械製造工藝、金屬切削工具機及工具專業）。1959年增設精密儀器和光學儀器專業。
1960年，機械製造系分為精密儀器及機械製造系和冶金系。冶金系即為現在的機械工程系，以熱加工專業為主。精密儀器及機械製造系下設3個專業，即金屬切削工具機及自動化（1963年改稱機械製造工藝及設備專業）、精密儀器、光學儀器。
1965年，精密儀器及機械製造系系館（即現在的精密儀器與機械學系系館，9003大樓）落成。
1971年，精密儀器及機械製造系改稱精密儀器系。1972年精密儀器專業改為陀螺導航與自動控制專業。1979年教育部直屬工科重點院校專業調整後，精密儀器系下設3個專業，即機械製造工藝、設備及自動化，光學儀器，陀螺儀器及導航自動控制。
1981年，機械學、光學儀器、精密機械及儀器批准為碩士點和博士點，機械製造批准為碩士點，並在1985年批准為博士點。
1984年，精密儀器系更名為現今的精密儀器與機械學系，下設3個專業，即機械設計與製造、光學儀器、精密儀器。1989年，精密儀器專業和光學儀器專業合併為精密儀器儀表專業，並在1995年改稱測控技術與儀器專業。
1988年，機械學（1997年改為機械設計及理論）、光學儀器（1997年改為光學工程）、精密儀器及機械3個學科被評為全國高等學校重點學科。機械製造及其自動化在2001年被評為全國高等學校重點學科。
1988年建立光學工程、儀器儀表2個博士後流動站，並在1991年建立機械工程博士後流動站。
1988年，摩擦學國家重點實驗室正式成立；
1992年，與自動化系、機械工程系共建的CIMS國家工程研究中心通過驗收。
1995年，與天津大學精密儀器系共建的精密測試技術與儀器國家重點實驗室正式成立；
1996年，光碟國家工程研究中心正式成立；
1996年，精密儀器與機械學系、機械工程系、汽車工程系聯合成立機械工程學院，之後工程力學系、熱能工程系、工業工程系、基礎工業訓練中心也分別併入機械工程學院。
1997年增設工業工程專業，並在2001年單獨成立工業工程系，隸屬於機械工程學院。
2003年，精密儀器與機械學系在深圳研究生院建立先進制造技術研究所，並在2010年成立先進制造學部。
2004年，國家工科機械基礎課程教學基地通過教育部驗收，並在2007年建設成立國家機械工程實驗教學示範中心。
2004年，增設微機電系統工程專業，同時按“製造自動化與測控技術專業”統一招生，前兩年為基礎平台課程，第三年按“機械工程及自動化”、“測控技術與儀器”和“微機電系統工程”三個專業方向分流培養。
2012年，精密儀器與機械學系按“機械工程及自動化專業（精儀系）”和“測控技術與儀器專業”兩個專業招生。
2012年12月，學校決定以精密儀器與機械學系的儀器科學和光學工程學科為基礎，成立精密儀器系，以促進儀器和光學學科的發展。
目前，精密儀器系建有光學工程和儀器科學與技術二個一級學科。下設光電工程研究所、儀器科學與技術研究所、導航技術工程中心、雷射與光子技術研究室等4個教學科研單位。
