申請日:2003年06月30日
公開日:2005年09月07日
授權公告日:
申請人/專利權人:旭化成電子材料元件株式會社
申請人地址:日本東京都
發明設計人:疋田浩一;山下昌哉
專利代理機構:北京市中咨律師事務所
代理人:楊曉光李崢
專利類型:發明專利
分類號:G01C17/38
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