微米技術

微米技術，積體電路的製造尺寸，必須以微米甚至納米來計量。１微米是１毫米的千分之一。

名稱

微米技術
主題詞或關鍵字: 信息科學 積體電路

內容

一根頭髮絲的直徑約為７０～１００微米，細菌的大小約為１微米～２微米，煙塵的微粒直徑還不到１微米，而病毒通常只有０.２５微米左右。但在微電子技術中，１微米可以容納很多電晶體。在矽晶片上製成電晶體積體電路，要在極小的面積上施工製造，最關鍵的技術是使電晶體的線寬要微縮，這樣才能使電晶體和積體電路之間緊密地編織到最小的空間裡。在只有頭髮絲直徑大小的矽片上，當線寬為１微米時，就可以容納４００個電晶體；如線寬為０.５微米，電晶體可達１５００個；線寬減到０.２５微米，則電晶體可達４５００個以上。在如此微細的空間裡進行電路安排和製作，只能在極高倍的隧道掃瞄顯微鏡下操作。７０年代初期，積體電路中電晶體的線寬為３微米～５微米；７０年代中期至８０年代中期，線寬縮小到１微米；８０年代中期以後，線寬縮小到１微米以下。隨著線寬的不斷縮小，積體電路的集成度和存貯信息量不斷提高。線寬為１微米時，集成度可高達數萬至百萬級；當線寬小於１微米時，集成度可高達４兆～６４兆百萬信息量。