微米納米器件測試技術

內容介紹

《微米納米器件測試技術》系統介紹了微米納米結構和器件的幾何量、形貌測試表征方法以及微米納米器件的動態特性、線上測試方法等，將一些最新觀點、最新成果涵蓋其中。《微米納米器件測試技術》可作為儀器科學與技術學科以及相關學科專業研究生的基礎課程講義，主要目的是使學生對微米納米器件測試技術的基本知識有一個比較系統、全面的了解和認識，培養他們對微米納米相關學科的興趣，為初學者提供一個微米納米器件測試理論學習的平台。