四氟化鈦

四氟化鈦，化學式TiF4，白色粉末，極易吸水。與其他鈦鹵化物相比，它採用了八面體配位的鈦聚合物結構。溶於冷水中分解，溶於H2SO4、乙醇和吡啶中，不溶於乙醚。

基本信息

中文名稱：四氟化鈦

英文名稱：Titanic fluoride，tetrafluoride， titanium(4+) tetrafluoride，Titanium(IV) Fluoride

分子式： TiF4

分子量： 123.87

熔點：高於400℃分解，284℃下升華

相對密度：2.7982

CAS號：7783-63-3

EINECS號：232-017-6

溶解性：溶於冷水中分解，溶於HSO、乙醇和吡啶中，不溶於乙醚

其他：與乾燥的氣體如O2、N2、CO、CO2、HCl、SO3、CS2等都不反應

製備或來源

以鈦粉直接氟化或將四氯化鈦與無水氟化氫作用均可製得純度99%以上的產品。

用途

在微電子工業中用作化學氣相沉積矽化鈦，以製取低電阻、高熔點的互連線。

質量指標

外觀（Appearance）： 白色吸濕性粉末

純度： 特級；

含量：≥98.5%；

氯化物：≤0.15%；

氟矽酸鹽：0.2%；

鐵：0.1%；

硫酸鹽：0.1%；

重金屬：0.1%