

掃描法 利用雷射方向性好這一特性形成的細光束掃描工件,測量工件的外徑或厚度(圖3)。雷射器發出的光束經準直透鏡和迴轉的透明四面稜體周期性地掃描工件外徑,當掃描至工件邊緣時,即被遮住。此時光電轉換元件發出信號,電子計數器開始計算與四面稜體同軸安裝的圓光柵副發生的莫爾條紋數,直至雷射束掃描至工件另一邊緣,光電轉換元件發出計數終止信號為止。所得莫爾條紋總數經過當量轉換後即得到被測外徑值。也可利用其他方法,例如由音叉諧振產生雷射束掃描運動和利用計時脈衝作為計數頻率等。


準直法 利用雷射方向性好的特性,採用光學準直系統使雷射束成為一理想光學直線,進行直線度測量等。
除上述方法外,還可利用光學衍射現象測量細絲和小孔(通孔),利用都卜勒效應(見雷射干涉儀)測量直線位移和角位移等。