基本概況
清華大學微電子學研究所全所現有建築面積約10000平方米，是國家重點支持的北方微電子研究開發基地的重要組成部分，開展各種領域的微納電子學研究及積體電路設計、製造、系統集成技術的開發，具有一條較為完備的積體電路開發與工藝試驗線，是信息科學國家實驗室的組成部分，也是高素質微納電子科技人才的培養基地。
清華大學微電子學研究所科研與教學設施先進，師資力量雄厚，擁有博士生導師13人。在1988年第一次國務院重點學科評選時，成為全國微電子學領域重點學科點。建所20年來，共培養學士千餘名，碩士與博士300多名，向社會輸送各層次優秀專業人才總計1300多人。又建立了可以完成IC相關技術全面教育與培訓的優良環境，開展了多種類型學位教育及專項技術培訓，取得顯著效益。根據學科發展的需要，2004年9月清華大學在微電子學研究所的基礎上成立了微電子與納電子學系，進一步提升了教學與科研水平，完善了管理體系。
師資力量
全所在編人員96人（含出國停薪人員），其中正高級14人（中科院院士1人），副高級38人，中級32人，教育職員5人，工人7人。
科研成果
THU RSA-1024成功開發第二代居民身份證專用晶片，已在全國大規模套用
本項目成果充分體現了產學研結合促進自主創新成果產業化，培育了包括晶片製造、模組封裝、制卡制證、讀寫機具以及套用系統等數百億規模的產業鏈與市場，創造了很大的經濟效益和社會效益，該成果榮獲2004年度北京市科技進步獎二等獎。
完全國產化的公用電話IC卡專用晶片獲國家科技進步二等獎
清華大學微電子學研究所研製成功的完全國產化的公用電話IC卡專用晶片，經大唐微電子公司的產業化努力，已在國內積體電路企業形成大規模生產供貨能力，是獲中國電信入網許可並在國內批量套用最大的國產IC電話卡。
數位訊號處理算法晶片設計關鍵技術獲北京科技進步二等獎
研製成功代表現代密碼學發展方向的公鑰密碼模冪乘運算晶片THM256，它採用0.8微米工藝，在90MHz工作頻率下進行RSA系統加解密的速度達到117Kbpi，達到國際先進水平，為我國信息安全提供了有價值的技術來源。該項技術成果《數位訊號處理算法的晶片設計關鍵技術》榮獲2001年度北京市科技進步二等獎。
在新型微納電子器件研究及系統級封裝技術方面
在量子計算與固體實現及超導量子器件的國際前沿尋求突破
在積體電路工藝技術、材料及特色電路研究方面
1989年建成國內第一條1微米級超大規模積體電路工藝研製線，在國內第一次正向設計和研製成功1Mb漢字ROM，集成度106萬個電晶體，標誌當時國內的微電子技術跨上了1微米級新台階。 研製成功用於VLSI的紅外快速熱處理系統、超高真空CVD外延系統，獲得中國和美國專利，並被授予國家發明二等獎，已在國內企業和研究院所廣泛套用。
《鍺矽高性能微波器件與微波積體電路研發及產業化》項目通過驗收
在積體電路設計技術研究和專用積體電路（ASIC）產品開發方面
從1981年開始，在國內率先研製成功1K位 SRAM、4K位 SRAM、16K位 SRAM、2K位 EEPROM、1M位漢字ROM。1983年開始相繼研製成功8位?p的C?8085A、16位?p的C?8086和C?8088、8位RISC單片微控制器與8位嵌入式微處理器TH68HC05與TH80C51核心模組。
國際交流
與國際著名大學荷蘭Delft大學成立“清華—德爾福特微電子技術聯合培訓中心”。
與世界上最先進的光刻機製造廠商荷蘭ASML公司簽署了“ASML光刻機適應性技術研究”合作研究項目。
與全球半導體行業先進設備工藝技術及高生產力領域領先企業美國諾發(Novellus)公司保持著長期的合作關係。
美國飛兆半導體公司與該校簽署協定合作建立晶片研發實驗室。
2004年開始與日本Toshiba半導體公司合作進行CMOS工藝模組技術及穩定性研究。
微電子學研究所與OMRON公司合作項目“小快速IEEE754標準二進制浮點運算處理器”2005年3月由該公司的技術專家一次驗收完成。
人才培養
微納電子系本科生一級學科名稱為電子科學與技術，二級學科名稱為微電子學。共有2003級本科生92人，2004級本科生66人，2005級本科生67人。2007年微納電子系開設了21門本科生課程，其中專業核心課8門，專業限選課5門，平台課2門，專業任選課4門，新生研討課2門。
