氣相擴散滲鍍

大部分摻雜是通過離子注入而不是預澱積擴散完成的。 滲金屬，是指以金屬原子滲入鋼的表面層的過程。 生產中常用的有滲鋁、滲鉻、滲硼、滲矽等。

現在大部分器件的特徵尺寸通常小於1μm。大部分摻雜是通過離子注入而不是預澱積擴散完成的。大部分液態源雜質是通過氣相傳輸方法送入爐管的。滲金屬，是指以金屬原子滲入鋼的表面層的過程。它是使鋼的表面層合金化，以使工件表面具有某些合金鋼、特殊鋼的特性，如耐熱、耐磨、抗氧化、耐腐蝕等。生產中常用的有滲鋁、滲鉻、滲硼、滲矽等。滲金屬的方法主要有固體法（如粉末包裝法、膏劑塗滲法等）、液體法（如熔鹽浸漬法、熔鹽電解法、熱浸法等）和氣體法。
滲鍍，在高溫下將氣態、固態或熔化狀態的欲滲鍍的物質（金屬或非金屬元素）通過擴散作用從被滲鍍的金屬的表面滲入內部以形成表層合金鍍層的一種表面處理的方法。所形成的鍍層稱為滲鍍層。用於提高抗氧化性（抗蝕性）、耐熱性和耐磨性等。滲鍍層與基體金屬之間是靠形成合金來結合的，因而結合牢固，鍍層不易脫落。以滲鍍物質的狀態分為固滲、液滲和氣滲；以聯合用其他塗層方法來分，有粉末包滲、熱浸法滲、電泳滲、料漿參或膏劑滲、噴鍍滲、電鍍滲和化學鍍滲等；以滲入元素的名稱和種類分又有滲鋁、滲矽、滲鉻等，以及二元共滲、多元共滲等。鍍層有抗高溫氧化、耐腐蝕、耐磨損等優良性能。

相關詞條

鋼	離子
滲鋁	滲鉻
擴散作用	非金屬元素