平面三自由度精密定位平台

簡介

平面三自由度精密定位平台，包括輸出平台、基座、三個柔順機構、三個壓電驅動器、三個驅動器定位裝置、三個位移感測器和控制器。

特徵

本實用新型由於三個柔順機構以及三個位移感測器沿輸出平台中心向外呈 120°角分布，保證了運動傳遞的無間隙、無摩擦、免潤滑、高精度性和高穩定性，並且提高了輸出平台移動的直線度；由於採用了柔順機構，不僅使得輸出平台能同時提供X、Y方向平移，Z方向旋轉，而且使得輸出平台和基座都在同一層次上；採用壓電陶瓷驅動器作為壓電驅動器，保證了驅動源的高精度運動輸出和快的回響速度，具有納米級的解析度和亞微米級的定位精度。本實用新型可廣泛套用於精密定位領域。