圖書信息
·書名:微機電系統設計與加工
微機電系統設計與加工作 者：（美）蓋德編，張海霞譯
出版社：機械工業出版社
出版時間：2010-2-1
ISBN:9787111285977
開本：16開
定價:63.00元
內容簡介
本書是MEMS系列圖書的一本，主要介紹MEMS技術中材料和加工方面的知識。內容包括：MEMS中的材料，MEMS製造，LIGA及其微模壓，基於X射線的加工，EFAB技術及其套用，單晶SiCMEMS製造、特性與可靠性，用於碳化矽體微加工的電漿反應深刻蝕，聚合物微系統：材料和加工，光診斷方法考察微流道的入口長度，套用於航空航天的微化學感測器，惡劣環境下的MEMS器件封裝技術，納機電系統製造技術，分子自組裝基本概念及套用。本書主要面向MEMS專業的高年級本科生和研究生，也可供MEMS技術研究人員參考。
圖書目錄
譯叢序言譯者序
第1章緒論
第2章MEMS中的材料
參考文獻
第3章MEMS製造
第4章LIGA及其微模壓
第5章基於X射線的加工
第6章EFAB技術及其套用
第7章單晶SiCMEMS製造、特性與可靠性
第8章用於碳化矽體微加工的電漿反應深刻蝕
第9章聚合物微系統：材料和加工
第10章光診斷方法考察微流道的入口長度
第11章套用於航空航天的微化學感測器
第12章惡劣環境下的MEMS器件封裝技術
第13章納機電系統製造技術
第14章分子自組裝基本概念及套用
參考文獻
