內容介紹
微機電系統（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術等密切相關，具有體積小、精度高、重量輕、性能可靠穩定、能耗低、靈敏度高、工作效率高，以及多功能智慧型化和適於大批量生產，成本低廉等一系列優點，有巨大的套用前景和經濟效益，被公認為21世紀的重點發展高科技前沿學科。本書主要從普及的角度介紹微機電系統及其相關技術，全書共分為12章，分別對微機電系統的定義、起源及研究現狀、製造技術、系統構成、設計技術進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、系統全面，包含了微機電系統製造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節；微機電系統構成中的各種微感測器、微執行器、微構件、微系統的工作機理；先進的微機電系統設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟體。
本書可供希望了解或採用微機電系統的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業等選修課時的教學參考書。
