定義
LIGALIGA工藝是一種基於X射線光刻技術的MEMS加工技術（工藝流程如圖所示），主要包括X光深度同步輻射光刻，電鑄制模和注模複製三個工藝步驟，
特點
與其他立體微加工技術相比，LIGA工藝具有如下特點：
1）可製作高度達數百至1000微米，高寬比大於200，側壁平行線偏離在亞微米範圍內的三維立體微結構；
2）對微結構的橫向形狀沒有限制，橫向尺寸可小到0.5微米，加工精度可達0.1微米；
3）用才廣泛，金屬、合金、陶瓷、聚合物、玻璃都可以作為LIGA加工的對象；
4）與微電鑄、注塑巧妙結合可實現大批量複製生產，成本低。
LIGA工藝是由德國卡爾斯魯厄核研究中心在80年代開發出來的，其發展非常迅速。目前，德國、美國、日本以及我國都開展了在該技術領域的研究。
