間隙形成

微結構間隙控制技術形成的結構及其形成方法，是利用矽的非等向性濕蝕刻方式，將一矽晶片蝕刻為上下結構兩部分且分開微加工，再利用陽極接合的技術，將上下結構兩部分與一玻璃基材接合，即可製作出一可精確控制上下結構高度的微結構。 包括有：一第一結構部分，其包含一第一微結構，以及一凹槽；一第二結構部分，其包含一第二微結構，以及一島形結構物，並容置於該第一結構部分的該凹槽中；以及一玻璃基板，與該第一結構部分及該第二結構部分接合，用以承載該第二結構部分並連結該第一結構。 [1]http://www.paten

微結構間隙控制技術形成的結構及其形成方法，是利用矽的非等向性濕蝕刻方式，將一矽晶片蝕刻為上下結構兩部分且分開微加工，再利用陽極接合的技術，將上下結構兩部分與一玻璃基材接合，即可製作出一可精確控制上下結構高度的微結構。包括有：一第一結構部分，其包含一第一微結構，以及一凹槽；一第二結構部分，其包含一第二微結構，以及一島形結構物，並容置於該第一結構部分的該凹槽中；以及一玻璃基板，與該第一結構部分及該第二結構部分接合，用以承載該第二結構部分並連結該第一結構。

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矽	微結構
蝕刻	玻璃基材