鈦酸鍶鋇薄膜材料

鈦酸鍶鋇薄膜材料主要用於製作動態隨機存儲器。

簡介

鈦酸鍶鋇薄膜材料及製備方法。材料包括金屬基片，特別是金屬基片上依次覆有Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3種子層和BaXSr1-XTiO3薄膜；方法包括用常規方法獲得金屬基片，特別是按照Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3的成分比，將醋酸鋇、醋酸鍶、三氟乙酸、乙醯丙酮和鈦酸丁脂先後混合得到種子層前驅膠體，再將該膠體置於金屬基片上，經甩膜、熱解、退火得到種子層；按照BaXSr1-XTiO3(0≤X≤1)的成分比，

備註

將醋酸鋇、醋酸鍶、鈦酸丁脂和甲醇先後混合得到鈦酸鍶鋇前驅膠體；再將此前驅膠體置於覆有種子層的金屬基片上，經甩膜、熱解和退火得到BaXSr1-XTiO3薄膜；重複得到薄膜的步驟，直至獲得所需厚度的BaXSr1-XTiO3薄膜，從而製得高度取向的鈦酸鍶鋇薄膜材料。它既適合後續釔鋇銅氧薄膜的生長，也可直接套用於動態隨機存儲器中