品 名
陶瓷薄膜
拼音
taocibomo
英文名稱
ceramic film
說明
一種介質薄膜。通過特定的薄膜工藝(如真空蒸發、濺射工藝等),將陶瓷材料做成厚度僅為微米級的薄膜,所製成的薄膜器件用於積體電路、半導體電路技術中。BaTiO3,PbTiO3,PLZT和Bi4Ti3O12等薄膜用於製造大容量薄膜電容器、電光器件、紅外探測器和鐵電顯示器件等。
常見的陶瓷薄膜有高介電常數的鈦酸鋇薄膜、鈦酸鉛薄膜。可用於製造大容量的薄膜電容器。摻鑭的鍶鋇鈦酸鹽薄膜,可製成熱敏電阻輻射熱測量器。鈮酸鍶鋇薄膜,可製成熱釋電探測器;鈦酸鉍薄膜,可製成鐵電顯示器。釔鋇銅氧薄膜,可製成超導體用。氧化鋁薄膜、氧化鋯薄膜、氧化鈦薄膜,可作為固-液分離膜使用。