簡介
矽材料國家重點實驗室(原名高純矽及矽烷國家重點實驗室)於1985年由原國家計委批准投資建設,1987年通過國家驗收,1988年正式對外開放,是國內最早建立的國家重點實驗室之一。以重點實驗室為依託的浙江大學材料物理與化學學科(原半導體材料學科)一直是全國重點學科,早在上世紀80年代初就成為國內第一批半導體材料碩士點,1986年建立了國內第一個半導體材料工學博士點。
目前,重點實驗室堅持長期、系統、穩定地工作,在以矽為核心的半導體材料領域,包括半導體矽材料、半導體薄膜材料以及複合半導體材料等研究方向,已成為國家在矽材料及半導體材料方面的科學研究創新及高級人才培養的主要基地之一,也是對外學術交流的重要視窗。
國家重點實驗室一直堅持“產、學、研”緊密結合。在微電子用半導體材料領域,從70年代開始就建立了產業基地,將科技成果成功地轉化為生產力,培育出寧波立立電子、浙江海納半導體等國內矽材料的龍頭企業,取得顯著經濟效益。目前,在大直徑矽單晶生長、加工和缺陷工程等基礎研究方面,在國際矽材料學術界占有獨特的地位。
機構人員
姓名 | 職稱 | 學委會職務 | 專業 | 工作單位 |
褚君浩 | 院士 | 主任 | 半導體物理 | 中科院上海技術物理研究所 |
張 澤 | 院士 | 副主任 | 材料微結構 | 浙江大學 |
闕端麟 | 院士 | 顧問 | 半導體材料 | 浙江大學 |
王占國 | 院士 | 委員 | 半導體材料 | 中科院半導體研究所 |
許居衍 | 院士 | 委員 | 半導體材料 | 無錫華晶集團 |
鄭有炓 | 院士 | 委員 | 半導體物理 | 南京大學 |
范守善 | 院士 | 委員 | 納米材料 | 清華大學 |
許寧生 | 院士 | 委員 | 光電材料 | 中山大學 |
游志朴 | 教授 | 委員 | 半導體物理 | 四川大學 |
陶緒堂 | 教授 | 委員 | 光電材料 | 山東大學 |
嚴曉浪 | 教授 | 委員 | 半導體材料 | 浙江大學 |
汪 茫 | 教授 | 委員 | 功能高分子 | 浙江大學 |
葉志鎮 | 教授 | 委員 | 半導體薄膜 | 浙江大學 |
楊德仁 | 教授 | 委員 | 半導體材料 | 浙江大學 |
研究方向
主要研究方向及研究特色
重點實驗室主要從事矽單晶材料及半導體材料的基礎科學與套用基礎研究,己形成自己的特色,主要研究方向如下:
(1)半導體矽材料的晶體生長,晶體加工和缺陷工程;
(2)半導體薄膜生長、物性評價及器件套用研究;
(3)複合半導體光電功能材料研究;
未來的發展方向
重點實驗室將堅持長期、系統、穩定的工作。以矽為核心的半導體材料的基礎研究和套用領域:在堅持微電子用大直徑矽單晶晶體生長、加工和缺陷工程研究的基礎上,著重拓展矽外延、太陽能矽材料、矽基光電子材料以及納米矽材料的研究;半導體薄膜領域:在堅持ZnO薄膜生長和摻雜特色的基礎上,重點開展半導體薄膜在LED照明領域的套用;複合半導體領域:在堅持有機-無機複合光電子材料和器件研究的同時,重點開展有機-有機,無機-無機複合光電子、光功能材料的基礎研究和套用。
在此基礎上,圍繞信息和能源材料的功能構造,進一步拓寬學科領域,加強電子信息材料、磁性材料、太陽能電池材料以及其它能源與環境材料等一批國民經濟發展迫切需要的新型功能材料的研究。以國際前沿的基礎科學問題,國家重大需求的關鍵技術攻關等為導向,提高基礎研究水平,做出創新成果。
開放基金管理規定
“矽材料國家重點實驗室”開放課題管理規則
第一章 總 則
第一條 為促進重點實驗室學科建設,加強向國內外同行的開放與交流,加快培養人才,多出成果,根據國家有關規定,特設立“矽材料國家重點實驗室開放課題(以下簡稱“開放課題”)。
第二條 矽材料國家重點實驗室(以下簡稱“重點實驗室”)鼓勵國內外優秀學者在科學技術的前沿領域開展高水平的研究,支持和重點實驗室學術研究領域相關的交叉學科和新思想、新概念、新技術的研究、開發和套用。
第三條 開放課題經費來源於矽材料國家重點實驗室運行經費。
第二章 指南的編制與發布
第四條 根據重點實驗室發展方向和重點,結合重點實驗室已有的研究方向,在充分論證的基礎上,編制“矽材料國家重點實驗室開放課題指南”(以下簡稱“指南”),由重點實驗室向科研單位公開發布。
第三章開放課題的申請和審批
第五條 開放課題的申請者必須是直接從事研究工作,具有講師(助研)以上職稱的科研人員或具有博士學位的研究人員均可申請。項目獲得批准後,申請者及主要合作者為重點實驗室客座人員。
第六條 申請者在“指南”的指導下,認真填寫開放課題“申請書”並報送重點實驗室。
第七條 重點實驗室組織同行專家對項目進行預評審篩選,報請學術委員會委員投票評定,擇優錄取。由重點實驗室向申請者下達開放課題批准書。
第八條 申請人接到批准通知後,應編制研究計畫書,於一個月內報重點實驗室備案。
第四章 開放課題的組織實施
第九條 開放課題執行中,重點實驗室負責全面管理,做好協調工作,開放課題負責人全面負責研究計畫實施並接受重點實驗室管理。
第十條 開放課題經費採用國庫支付,需要在浙江大學使用,經費不外撥。開放課題經費主要用於和開放課題相關的材料費、測試費、資料費、會議費和差旅費等內容,同時可以用來支付在重點實驗室的實驗、測試等費用。
第十一條 鼓勵和支持項目相關人員(包括學生)來重點實驗室工作,可以和實驗室人員合作研究或利用重點實驗室公共設備,原則上,開放課題執行期間,在重點實驗室工作時間不得少於1個月。在開放課題經費中,2萬元應專門用於開放課題相關人員來重點實驗室的有關費用,包括合作實驗或測試費用、來回差旅費用、住宿費用以及一伙食補貼等費用。
第五章 開放課題的結題與成果管理
第十二條 按照國家重點實驗室管理規則,受重點實驗室開放課題資助的發表成果(包括論文、申請專利或報獎等),在列出作者所在單位的同時,必須署上“浙江大學矽材料國家重點實驗室”單位名稱。不署或只寫“得到浙江大學矽材料國家重點實驗室開放課題資助”,在今後重點實驗室評估時一律不算重點實驗室的研究成果,該開放課題組成員在下次申請重點實驗室開放課題時也將不予考慮。
第十三條 開放課題負責人必須按時向重點實驗室匯報科研年度小結。包括科研活動進展情況,取得的成果,存在困難和問題,以及經費使用情況與計畫。
第十四條 開放課題負責人在課題完成時,必須按時寫出課題結體報告,向重點實驗室登記科研成果。
第十五條 經檢查如發現開放課題因故中斷或無法進行時,經重點實驗室領導批准後,可以中斷該開放課題經費的使用或取消原批准的開放課題經費。
第六章 附則
第十六條 本辦法由矽材料國家重點實驗室負責解釋。本辦法自發布之日起實施。
人才培養
國家“百千萬人才工程”第一、二層入選名單
姓名 | 入選年度 |
葉志鎮 | 1997 |
“新世紀百千萬人才工程”國家級人選名單
姓名 | 入選年度 |
許祝安 | 2004 |
楊德仁 | 2007 |
入選教育部“跨世紀優秀人才培養計畫”名單
教育部新世紀優秀人才支持計畫
姓名 | 批准年度 | 資助時間 |
馬向陽 | 2004年度 | 2005-2007 |
嚴 密 | 2005年度 | 2006-2008 |
浙江大學求是特聘教授
姓名 | 設崗學科 | 入選年度 |
葉志鎮 | 材料物理與化學 | 2006 |
邱建榮 | 材料物理與化學 | 2006 |
浙江省有突出貢獻的中青年專家
姓名 | 獲得年份 |
楊德仁 | 2006 |
葉志鎮 | 2007 |
全國優秀博士論文
獲獎者 | 導師 | 論文題目 | 獲得年份 |
錢國棟 | 王民權 | 無機基有機納米複合發光材料製備與光譜學基礎研究 | 2001 |
入選浙江省新世紀“151人才工程”重點和第一、二、三層次人員名單
儀器設備
在晶體生長和薄膜製備方面
擁有先進的CG6000大直徑矽單晶生長爐
超高真空CVD外延設備以及MOCVD、液相外延爐
磁控濺射和熱蒸發薄膜生長設備等
在半導體分析測試方面
擁有Bede D1光衍射儀器
SSM—350擴展電阻儀
傅立葉紅外光譜儀
CM200型超高分辨透射電子顯微鏡
Hitachi S4800場發射掃描電鏡
Edinburgh FLS920 螢光光譜測量系統
HL5500半導體材料霍爾參數測試儀等大型測試設備
貢獻突出
上世紀50年代初,浙江大學就開始了半導體矽材料的研究,從研究室、研究所到國家重點實驗室,不斷發展壯大,並取得了一系列重要成果。在矽烷法製備多晶矽提純技術、直拉矽單晶生長技術、探測器級高純矽單晶、矽單晶的電學測量、減壓充氮直拉矽單晶技術、微氮直拉矽單晶缺陷基礎研究等方面取得了重大成果,曾獲國家自然科學二等獎1項(2005年)、國家發明二等獎l項(1989年)、三等獎2項,浙江省重大科技進步貢獻獎1項,何梁何利科技獎1項,中國青年科技獎1項,以及省部級科技進步獎10餘項。
在上世紀90年代初,重點實驗室研究領域開始拓寬,建立了半導體薄膜材料研究方向。1992年研製了國內第一台超高真空CVD外延設備,開闢了一個利用超高真空CVD新技術低溫生長優質半導體薄膜材料的研究領域。在利用超高真空CVD低溫外延技術生長優質薄矽外延片和新穎鍺矽合金材料方面取得很大進展。在寬禁帶GaN、ZnO單晶薄膜異質結構生長、ZnO的P型摻雜關鍵技術解決及ZnO紫外探測器的製備等方面已取得了突破性進展,獲得國家自然科學二等獎1項(2007年)、浙江省科技進步獎2項(2006年,2007年),為研發新一代半導體材料作出了重要的基礎研究工作。
在90年代末,重點實驗室開拓了複合半導體光功能材料、納米材料、玻璃表面功能薄膜製備等新功能材料與結構構造等方面的新研究方向,並在有機半導體材料、有機光導鼓和有機/無機複合雷射材料與器件、玻璃線上鍍膜、納米材料與電子陶瓷器件產業化方面取得重要進展。獲得了國家科學技術進步二等獎1項(2008年),省部級科技進步獎8項,為相關領域的基礎研究和技術進步做出了重要貢獻。
近幾年來,重點實驗室共承擔國家與省部級縱向科研項目173項,總經費1.1億,實到經費5200萬元。其中,包括國家“973”首席項目1項,二級課題4項,共5項;國家自然科學基金55項,其中重點項目6項;國家863項目10項,省部級項目79項,國際合作項目多項。
現在,重點實驗室共有17項科研成果獲得獎勵,其中國家自然科學二等獎2項;浙江省科技一等獎6項,省部級科技二等獎7項;國際學術獎勵2項。發表學術論文1192餘篇,被SCI收錄867篇,國際公認權威期刊(IF>3.0)120餘篇,論文被SCI累積他引用4000餘次;授權發明專利111項。
國家重點實驗室
國家重點實驗室作為國家科技創新體系的重要組成部分 , 是國家組織高水平基礎研究和套用基礎研究、聚集和培養優秀科學家、開展高層次學術交流的重要基地。國家重點實驗室是依託一級法人單位建設、具有相對獨立的人事權和財務權的科研實體 , 實行“開放、流動、聯合、競爭”的運行機制。 |
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