王培大

大學。 中國科學院半導體研究所。 1960年畢業於西北工業大學機械系。

基本信息

王培大 高級工程師。男,1935年8月生,四川廣安人。大學。中國科學院半導體研究所。離子束開放室學術委員。1960年畢業於西北工業大學機械系。一直從事半導體工藝設備設計、平面電晶體和特殊器件研製、大規模積體電路工藝技術研究工作。獲中國科學院技術設備進步獎、科技進步獎、國家重大發明獎多項,LC4-700KeV高能離子注入機獲國家科技進步二等獎。發表論文近40篇。研究方向:離子注入工藝和設備。

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