無機質譜法

無機質譜法 inorganic mass spectrometry
對無機化合物進行定性定量分析的質譜方法。早期使用火花源質譜儀器為主，目前成功地把電感耦合電漿（ICP）電離源與質譜結合起來，使質譜法更廣泛的用於無機物的分析。無機質譜法的主要套用領域有：高純氣體中痕量雜質分析；無機物元素分析；固體表面的微區和深度分析等。無機質譜法的突出優點是它具有超高靈敏度。