內容簡介
本
溥膜結構X射線表征書結合作者二十多年來的工作積累和國內外最新進展，系統介紹了套用X射線衍射和散射技術表征薄膜微結構的多種基本實驗裝置、實驗數據分析理論以及典型的薄膜微結構表徵實例。全書分三篇(共16章)：第一篇基本實驗裝置(第1～3章)，主要介紹X射線源、X射線準直和單色化、各種探測器及薄膜X射線衍射儀和表面/界面散射裝置。第二篇基本理論(第4～10章)，介紹薄膜X射線衍射和散射實驗數據分析所用的相關理論，包括用於近完美多層膜和金屬多層膜的X射線衍射運動學理論；用於超晶格和多量子阱的X射線衍射動力學理論；用於原子密度和晶格參數很接近的金屬多層膜的X射線異常衍射精細結構理論；用於薄膜和多層膜表面與界面分析的X射線反射、漫散射理論以及掠入射衍射理論。第三篇薄膜微結構表征(第11～16章)，介紹套用X射線衍射和散射技術表征薄膜微結構的實例。
本書力圖理論聯繫實驗、深入淺出，而又不失其先進性、實用性和普適性。可供從事薄膜材料和器件研究的研究人員和工程技術人員參考，也可作為高等院校和研究院所凝聚態物理、材料科學和有關薄膜科學技術專業及相關專業的教師和研究生教學用書和參考書。
目錄
序
前言
第一篇 基本實驗裝置
第1章 X射線源與X射線探測
1.1 X射線源
1.2 X射線準直和單色化
1.3 X射線探測器
參考文獻
第2章 薄膜X射線衍射儀
2.1 高分辨共面X射線衍射儀
2.2 掠入射衍射裝置
2.3 測量解析度的分析
參考文獻
第3章 表面/界面X射線散射
3.1 固體表面/界面X射線反射和漫散射裝置
。。。。。。
