界面散射

界面散射（in 半導體載流子沿表面層運動的表面遷移率總低於體內遷移率，這種由於沿表面層運動的載流子受到的不同於體內的附加散射，就稱之為表面散射或界面散射。 界面散射機制比較複雜。

定義

界面散射（interfacescattering）
半導體載流子沿表面層運動的表面遷移率總低於體內遷移率，這種由於沿表面層運動的載流子受到的不同於體內的附加散射，就稱之為表面散射或界面散射。

散射機制

界面散射機制比較複雜。例如表面粗糙度散射，是由於表面粗糙不平整引起的散射過程，這時表面不是一個平面而是像一個被彎曲了的薄片，因此當電子沿表面運動時將受到干擾，使遷移率降低。這種散射作用對薄的表面空間電荷層較明顯，例如強反型層就屬於這種情況。