消氣劑濺射介紹
當真空室內的真空度為13Pa時，在陰陽兩電極間加上一定的電壓，氣體發生自激放電，從陰極發射出的原子或原子團可沉積在陽極或真空室的壁上。這種濺射稱為消氣劑濺射。
消氣劑濺射放電迴路，是靠氣體放電產生的正離子向陰極運動和一次電子向陽極運動形成的，放電過程是靠正離子撞擊陰極產生二次電子，通過克魯克斯暗區被加速，以補充一次電子的消耗來維持。因此，外部電路中測得的放電是轟擊靶的正離子流和陰極發射的二次電子流之和。
優點
(1)任何物質均可以濺射，尤其高熔點、低蒸汽壓元素和化合物；
(2)濺射鍍膜密度高，厚度均勻，無氣孔，與基底結合牢固。
缺點
(1)濺射設備複雜，需要真空系統及高壓裝置；
(2)沉積速率低。
