《微電子材料與器件製備技術》是2008年化學工業出版社出版的圖書，作者是王秀峰、伍媛婷。
本書以微電子材料為對象，以材料和器件的製備工藝為主線，系統、全面地介紹了微電子材料與器件製備技術的前沿問題與進展。全書主要包括微電子材料的分類及性能、微電子器件中材料的選擇、不同微電子材料與器件的加工工藝以及微電子材料的性能測試技術等。
本書適合微電子材料與器件製備領域的工程技術人員、研發人員閱讀使用，也可作為高等院校材料科學與工程、電子科學與技術、化學工程、機械設計與製造等專業師生的教學用書。
1概述1
1.1微電子技術1
1.2微電子材料及其套用2
1.3工藝3
1.4器件4
1.5未來趨勢4
2單晶6
3薄膜18
4光刻、鑄造和壓印42
5刻蝕與化學機械拋光80
6清洗與表面預處理110
7表面層改性128
8晶片鍵合技術147
9工藝集成158
10CMOS電晶體181
11MEMS工藝集成202
12微電子材料與器件性能測量分析215
參考文獻224
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辦學歷史 師資力量 研究基地 研究方向《微電子與光電子集成技術》是2008年1月電子工業出版社出版的圖書，作者是陳弘達。本書主要為從事集成光電子和光通信等相關技術研究的科研人員提供參考。
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