•出版時間2014年2月
•譯者
•版次2版1次
•開本16
•裝幀精裝
•出版基金國防科技圖書出版基金
•頁數186
•字數235
•中圖分類TN965
•叢書名微米納米技術叢書·MEMS與微系統系列
•定價76.00
本書匯集了近年來國內微慣性器件與系統技術方面的最新科研成果,共 6 章,主要介紹微型慣性器件和系統的發展狀況,典型器件和系統的基本工作原理、實現方法和測試技術等, 其中包括振動式矽微機械陀螺、矽微機械加速度計、微型氣流式陀螺儀、微型熱對流加速度計和微慣性系統技術。本書可作為相關領域本科生、研究生和教師的教學參考書,並可供相關的科技人員參考。
目錄
第1 章緒論 1
1. 1微慣性器件發展歷史及技術現狀 1
1. 2微慣性器件套用及發展方向 9
1. 3微慣性感測器主要廠商及其特點 14
參考文獻 17
第2 章振動式矽微機械陀螺 19
2. 1振動式矽微機械陀螺的基本理論及模型 19
2. 1. 1振動式矽微機械陀螺的基本原理 19
2. 1. 2振動式矽微機械陀螺的典型結構 20
2. 1. 3振動式矽微機械陀螺動力學方程 22
2. 1. 4線振動微機械陀螺的動態輸出特性 28
2. 1. 5小結 30
2. 2敏感結構的設計 30
2. 2. 1材料特性 30
2. 2. 2總體設計 31
2. 2. 3關鍵結構設計 35
2. 3信號檢測、處理和運動控制 42
2. 3. 1微小電容檢測技術 43
2. 3. 2信號處理與提取 46
2. 3. 3陀螺運動控制 49
2. 4測試技術 52
2. 4. 1振動式矽微機械陀螺主要指標 52
2. 4. 2測試方法 53
2. 4. 3數據處理 55
參考文獻 58
第3 章矽微機械加速度計 60
3. 1矽微撓性加速度計 61
3. 1. 1梳齒式電容加速度計 61
3. 1. 2“蹺蹺板冶擺式電容加速度計 72
3. 1. 3“三明治冶擺式電容加速度計 76
3. 2矽微諧振式加速度計 80
3. 2. 1工作原理 80
3. 2. 2結構特點 82
3. 2. 3系統組成 85
3. 3矽微靜電懸浮式加速度計 86
3. 3. 1工作原理 86
3. 3. 2結構特點 88
3. 3. 3系統組成 89
參考文獻 96
第4 章微型氣流式陀螺 97
4. 1工作原理及模型 98
4. 1. 1對流換熱原理 98
4. 1. 2熱敏元件的檢測方法 100
4. 1. 3系統信號檢測電路 103
4. 2微型熱對流陀螺 106
4. 2. 1器件結構和工作原理 106
4. 2. 2系統建模及數值模擬 108
4. 2. 3陀螺加工工藝 112
4. 2. 4交叉耦合效應及補償技術 114
4. 3微型射流陀螺 117
4. 3. 1器件結構和工作原理 117
4. 3. 2數值模擬分析方法 120
4. 3. 3陀螺加工工藝 124
4. 4總結 126
參考文獻 126
第5 章MEMS 熱對流加速度感測器 128
5. 1熱對流加速度感測器工作原理 129
5. 2計算機仿真與分析 130
5. 2. 1線性度分析 131
5. 2. 2靈敏度分析 132
5. 3結構設計和製作工藝 136
獄
5. 4三軸微型熱對流加速度感測器 139
5. 4. 1三軸熱對流加速度感測器工作機理 139
5. 4. 2三軸熱對流加速度感測器結構設計 140
5. 4. 3三維流體場的計算機仿真 141
5. 4. 4三軸微型熱對流加速度感測器三維立體加工 143
5. 4. 5三軸微型熱對流加速度感測器的封裝 145
5. 5檢測電路 147
5. 5. 1加熱器溫度控制電路的模型和控制電路 147
5. 5. 2加速度信號檢測電路 148
參考文獻 149
第6 章微慣性系統技術 151
6.1微慣性測量單元(MIMU)的基本概念和組成 151
6.1.1MIMU 的發展現狀 151
6.1.2MIMU 的組成 154
6.2MIMU 的基本種類和工作原理 154
6.2.1微機械航姿參考系統 154
6.2.2微型慣性導航系統 156
6.2.3微慣性衛星組合導航系統 159
6.2.4無陀螺捷聯導航系統 161
6.2.5多感測器融合系統 163
6.2.6多軸單片集成系統 167
6.3MIMU 的套用和發展 172
6.3.1武器裝備 173
6.3.2航空航天 176
6.3.3車輛 177
6.3.4船舶 179
6.3.5石油勘探 179
6.3.6機器人 180
6.3.7醫療健康 181
6.3.8消費電子 182
參考文獻 182"
