形貌襯度

利用對試樣表面形貌變化敏感的物理信號如二次電子、背散射電子等作為顯象管的調製信號，可以得到形貌襯度像。

名詞解釋

形貌襯度 (Topographic Contrast)
是在SEM中，由於試樣表面形貌差異而形成的襯度。

相關介紹

其強度是試樣表面傾角的函式。而試樣表面微區形貌差別實際上就是 各微區表面相對於入射束的傾角不同，因此電子束在試樣上掃描時任何二點 的形貌差別，表現為信號強度的差別，從而在圖像中形成顯示形貌的襯度。 二次電子像的襯度是最典型的形貌襯度。