基本介紹
大平台檢測顯微鏡是專為IT行業大面積積體電路,晶體的質量檢測而設計開發製造的。
正置式,三目鏡筒,比傳統的顯微鏡更適合於觀察。上部安裝彩色攝像機連續彩色監視器可直接觀察。可連線計算機列印報告、照片或連線數位相機,照相機直接拍照,還可以直接進行圖像記錄,並建立技術檢測檔案,存儲,查詢,可省去複雜煩瑣的攝影,洗印等暗室工作,大大的提高了工作效率。
基本特點
1、放大倍數:40倍至500倍;
2、超大型載物台,可作大範圍的縱橫方向快、慢速移動,擴大檢測領域的使用範圍。
3、可以與OVM-TM軟體搭配使用。
技術參數
1、機械筒長160mm。2、物鏡
放大倍數 | 數值孔徑 | 工作距離 | 介質 | 使用範圍 | 配置 |
4× | 0.10 | 17.912 | 空氣 | 明場 | 1 |
10× | 0.25 | 6.544 | 空氣 | 明場 | 1 |
PC20× | 0.40 | 1.05 | 空氣 | 明場 | 1 |
PC40× | 0.65 | 0.376 | 空氣 | 明場 | 1 |
放大倍數 | 焦距 | 視場直徑 | 備註 |
10× | 25 | 18 | - |
12.5× | 25 | 14 | 選配 |
4、物鏡:放大倍數40倍至500倍。
5、載物台面積400mm×300mm。縱向移動範圍---254mm橫向移動範圍---254mm
6、調焦機構:同軸粗微調機構,調焦範圍36mm.格值0.002mm。
7、光源:內藏式連續調光電源,鎢鹵素燈12V/50W。
8、物鏡轉換器五孔式(四孔式)。
9、目鏡筒三目鏡(雙目鏡)。
10、儀器功能,明場、偏光、攝影等。
11、儀器重量:17公斤。
12、儀器體積:長560mm,寬530mm,高400mm。