人物簡介
性 別 男
出生年月 197105
學位/學歷 博士（後）
職 稱 教授
一級學科 控制科學與工程 二級學院 機電工程學院 二級學科 檢測技術與自動化裝置
研究方向 高速超精機電系統、動力學與控制，減振技術等
Fellow,於2002年8月開始加盟ASM亞太研究中心。主要從事高精密機器與複雜設備系統動力學、結構工程及振動控制等方面的研究。在實際工作中，已陸續參加和主持了國內外(科技部、中國航天科技集團,中科院重大知識創新、新加坡政府、世界第一大半導體封裝設備供應商ASM亞太，上海市科委等) 多項大型高新項目的研究，主要參加和承擔過國家十五與863重大專項，承擔2項有關的重大專項的子項目。近些年，主要從事高速超精半導體裝備，如後道微電子封裝設備(如引線鍵合機等)、前道製造設備(100nm步進掃描光刻機)的研究工作。多次受邀參加國內外舉辦的高水平的學術會議等。於2006年8月獲上海浦江人才計畫資助的項目“雙軸驅動高速高精工件台研製”(A類)，在2008年8月獲評“出色地”完成；2007年12月曾榮獲教育部自然科學獎一等獎（第二完成人）等多個項目獎。
2009年2月底加入中國計量學院。
在研課題
計量學院引進人才項目（主持人）；
浙江傑出青年基金項目（R1100015/主持人）；
國家自然科學基金項目（51075377/主持人）；
國家重點實驗室開放基金項目（GZKF-201017/主持人）；
國家重點實驗室開放基金項目（DMETKF2010006/主持人）；
某大型叉車的動力學分析與減振設計
獲獎情況
2000年1月, 在國家重大知識創新項目研製中, 被評為所”先進科技工作者”;
2006 年1月 在國家863重大專項研究中，被研究中心評為“先進員工”。
2006年8月 獲得上海“浦江人才計畫”(A類資助), 於2008年8月獲評“出色地”完成了任務。
2007年12月 獲得 教育部“自然科學獎”（一等獎）一項。
申請的發明專利
(包括第二作者及以後)
發明專利 (34)條
【01】200710173581.9 一種剪式提升裝置
【02】200710172427.X 一種工件台平衡質量定位系統
【03】200710172429.9 工件台平衡質量定位系統
【04】200710173146.6 單孔形標記對準信號處理方法
【05】200710173575.3 光刻設備的探測裝置與探測方法
【06】200810033058.0 一種抓手角度可調的夾取裝置
【07】200710172938.1 基於自適應糾正處理提高對準信號處理精度的方法(已授權)
【08】200710045581.0 一種精密提升裝置
【09】200510026019.4 一種精密減振和定位裝置
【10】200510029686.8 一種隨機回響信號測量與分析的方法
【11】200510112113.1 一種精密定位和調整工裝(已授權)
【12】200610025895.X 一種複合減振式光刻裝置(已授權)
【13】200610147842.5 懸掛式支撐成像系統及光刻裝置
【14】200710040650.9 一種傳輸控制裝置及其控制方法(已授權)
【15】200710040997.3 一種多連結傳輸控制方法
【16】200710041769.8 一種旋轉交換的雙台系統(已授權)
【17】200710042417.4 光刻機工件台平衡定位系統(已授權)
【18】200710043324.3 垂向微調及重力補償裝置與光刻機(已授權)
【19】200710041226.6 光刻機工件台平衡定位系統(已授權)
【20】200710044559.4 光刻裝置的對準方法及系統(已授權)
【21】200710044848.4 脈衝信號的逼近方法 (已授權)
【22】200710046060.7 氣缸活塞減振裝置(已授權)
【23】200810036911.4 二維編碼歸一化對準標記組合及其對準方法和對準系統
【24】200810036910.X 歸一化對準標記組合及其對準方法和對準系統
【25】200810038391.0 光刻設備的探測裝置、探測方法及製造方法(已授權)
【26】200810037649.5 六自由度微動台(已授權)
【27】200810200646.9 脈衝波強度採樣同步的校準方法與系統
【28】200810200919.X 主動減振系統及其預見控制方法(已授權)
【29】200810200647.3 信道增益數字均衡自適應校準系統與方法
【30】200810201311.9 主動減振隔振裝置及主動減振隔振系統(已授權)
【31】200810200917.0 一種同軸度檢測裝置
【32】200910045207.X 一種減振支撐裝置
【33】200780050936.3 可逆極性解碼器電路及相關方法
【34】201010121928.7 一種活塞往復式壓縮機“無餘隙”機型的分體型吸氣閥體及其安裝方法
實用新型專利 (7)條
【35】200720074739.2 活塞氣缸減振機構
【36】200720076163.3 垂向微調及重力補償機構
【37】200620041223.3 一種可以轉出的帶有記憶功能的六自由度精密調節裝置
【38】200620049444.5 一種柔性支撐機構
【39】200720067425.X 一種大阻尼精密柔性支撐機構
【40】200720076162.9 一種工件台平衡定位裝置
【41】200720076166.7 一種精密提升裝置
帶領課題組申請發明專利34項，其中15項發明專利業已授權。
科研項目
[1]航天工程項目：長二捆運載火箭上面級約束阻尼結構系統動力學分析與最佳化
[2]航天工程項目：某儀器艙模態分析、測試及一體化振動控制方法研究
[3]新加坡科技部項目: Dynamics Properties Investigation and Advanced Servo Control for Hard Disk Drives (HDDs).
[4]SONY Singapore Research Lab: Micro-Sensing & Bandwidth Extension of Hard Disk Drives.
[5]Seagate Singapore: Research & Development of Micro-Modal Testing Technologies.
[6]主要參與國家十五與863重大專項，負責整機動力學仿真最佳化與試驗及精密主動減振系統
[7]主持/參與完成兩個國家863重大專項子項目等.
