又名
又名：微系統與微結構製造教育部重點實驗室
實驗室簡介
微系統與微結構製造教育部重點實驗室成立於2006年，隸屬於國家教育部，該重點實驗室以哈爾濱工業大學機械電子工程、機械製造及其自動化、材料加工、精密儀器及機械等4個國家級重點學科為主要依託，以微電子與固體物理、化學、物理學等學科為基礎，在哈爾濱工業大學微納米技術研究中心進行建設。
師資力量
實驗室現有專職教師和研究人員45名，其中有教授26人（博導22人），副教授8人，講師（助理研究員）11人。目前實驗室擁有科研用房面積4000m、儀器設備總值3000餘萬元。
研究方向
實驗室以微結構與微系統為研究對象，瞄準國際學科前沿，立足國防建設，面向國民經濟主戰場，圍繞我國製造業發展中的重大科技問題，通過多學科交叉與融合，建設和完善了微納製造技術、納米科技、微納系統集成等若干研究領域。微納製造技術研究領域下設微塑性成形、微鑄造成形，微注射成形、SPM加工、微細特種加工、微連線等若干研究方向。納米科技研究領域下設納米材料、納米生物、納米器件、納米醫學、納米能源和納米表征等若干重要基礎與套用研究方向。
儀器設備
實驗室擁有各種大型先進儀器設備40餘台，為各學科方向搭建了微系統與微結構加工、測試與表征研究平台，包括由微衝壓系統、微塑性成型系統、微塑性拉伸試驗機、微注射成型機等組成的微納加工平台；由離子束刻蝕系統、原子層沉積系統、電阻蒸發鍍膜機、可變轉速比率的行星式高能球磨機等組成的材料製備平台；由場發射掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡、徠卡熱台偏光顯微鏡、HJY螢光分光光譜儀、熱分析儀等組成的材料表征平台；另外，生物醫學平台和能源環境平台正在建設中。
教學成果
實驗室現有長江學者3名（程凱、孫立寧、Nicholas A. Kotov）；國家傑出青年基金獲得者6名（程凱、孫立寧、沈軍、高明遠、唐智勇、蔣興宇）；黑龍江省傑出青年基金獲得者7名（郭斌、梁迎春、單德彬、孫秀冬、甄良、沈軍、王鈾）；新世紀優秀人才9名（孫秀冬、單德彬、王鈾、沈軍、陳明君、榮偉彬、雷聖賓、劉紹琴、胡平安）；承擔微納米技術研究方向科研項目60餘項、總經費7,900餘萬元；獲國家技術發明二等獎1項，教育部自然科學一等獎1項，黑龍江省技術發明一等獎1項；培育並建成了“精密與微納製造國防緊缺學科”，完成了哈工大微系統與微結構製造技術研究從無序到有序、從散兵突擊到集團作戰的戰略轉變，形成了特色鮮明的微系統與微結構製造技術研究和人才培養基地。
哈爾濱工業大學微納米技術研究中心
