全氟丁基磺酸

m、193-n m、248-n .chin

中文名稱

全氟丁基磺酸三苯基鋶鹽

英文名稱

Triphenylsulfoniumperfluoro-1-butanesufonate(TPS-PFBS,TPS-Nf)　

分子式

CF3(CF2)3SO3S(C6H5)3

分子量

562.47　

CAS登記號

144317-44-2

理化性質

白色結晶粉末，熔點：84-88℃，含量〉99%(電子工業級)。

溶解性：丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)：約50%，γ-丁基內酯：約65%，乙酸乙酯：約65%。

PAG-4L在樹脂和溶劑中溶解性能好，酸性強，純度高，熱穩定性高，揮發性低。

用途

表面活性劑(SAA)，陽離子光引發劑，光致產酸劑(PAG)，與全氟辛基磺酸三苯基鋶鹽(TPS-PFOS)相比，安全、衛生、低毒、環境友好，可作為目前157-nm、193-nm、248-nm光刻膠中常用光酸劑(PAG)全氟辛基磺酸三苯基鋶鹽(TPS-PFOS)的替代品。