二維壓電光學掃描器

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光學掃描器

光學掃描器，構成元件傳動件、反射鏡和四片壓電陶瓷，特點加工簡單，結構設計合理。
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原子力顯微鏡

，並驅使通常由壓電陶瓷管制作的掃描器做適當的移動，以保持樣品與針尖保持一定的作用力。總結 AFM系統使用壓電陶瓷管制作的掃描器精確控制微小的掃描...其運動的反饋迴路、使樣品進行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計算機控制的圖像採集...
簡介原理優缺點儀器結構工作模式
南京大學微電子設計研究所

； 5．高性能二元光學透鏡陣列、二維光柵和二元光學分束器。（2）研究方向...。創新提出並研製出Ⅲ族氮化物壓電調製場效應電晶體，開闢了發展Ⅲ族氮化物...微光學元件技術設計和最佳化二元微圖形，採用IC微細加工技術製造微光學器件...
【所情概況】【研究領域】【重點學科】【學科方向】【合作交流】

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