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摩崖石經 刻於自然岩石上,一般認為始於北齊。以山東泰山經石峪的大字《金剛經》和泰山東南徂徠山映佛岩的《大般若經》最為著名。清錢大昕謂此二經皆北齊武平中王子椿所書。以後,摩崖石經遍布今山東、山西、河南、河北、陝西、四川等省。山東鄒縣的嶧山、鐵山、葛山、岡山、尖山等地所刻《大集經》等,都有北周、北齊年號的題記。其中鐵山所刻《大集經》,規模超過泰山的《金剛經》,有北齊經主和僧人題字,保存完好。最後的摩崖石經,系北周大象元年(579)所刻的崗山摩崖石經。據《山東通志》記述,《楞伽經》石為北齊所造,《觀無量壽經》石為北周所造。另外,寧陽縣水牛山也留有北齊所刻《般若經》的摩崖石經。 石柱石經 刻在石柱上藏於石洞中。以山西太原風峪的《華嚴經》為代表。清代著名學者朱彝尊等曾親往察看。由於風峪石經三面被掩,今所見拓本皆是露出的一面,經文殘缺,不能接續。近代學者認為刻於石柱的《華嚴經》,是唐刻而非北齊遺物。碑版石經 刻於碑版、鑲嵌於寺院牆壁和貯藏於山間石洞。嵌於寺院牆壁的,有唐長慶四年(824)惠皎於杭州西湖孤山鐫刻的石壁《法華經》;大和三年(829)清晃於姑蘇法華院刊刻的石壁《法華經》等。兩處皆有當時刺史白居易和宰相元稹的題記。據佛教史傳記載,其他碑版石經尚有唐末洛陽長壽寺《華嚴經》、聖善寺《法華經》、嵩山嵩岳寺《楞伽經》等。以上碑版石經,今已不存。宋代碑版石經有太平興國二年 (977)宋宗室趙安仁所書《金剛經》,嵌於開封繁塔內壁間。其他見於文獻記載的宋刻石經有蘇州虎丘雲岩寺的《普門品經》,杭州六和塔的《四十二章經》,江蘇句容崇聖寺的《金剛經》等,亦均不存。現存的有北京西郊八里莊摩訶庵藏明代刻於漢白玉的64塊《金剛經》石版。 碑版石經歷史最久、規模最大,保存得最好而具有代表性的是房山石經。此外,還有開闢石洞削平其壁面加以磨光而刻的壁面石經。河北響堂山大住聖窟(古稱鼓山石窟)有北齊唐邕刻的《維摩經》、《勝鬘經》、《彌勒成佛經》)等,並留有《鼓山唐邕刻經銘》。近年在四川安岳縣臥佛溝(唐臥佛院遺址)發現的藏經洞,系唐開元二十三年(735)開鑿,共有45洞,其中16洞的三面石壁上刻有《大般涅槃經》、《報恩經》、《般若波羅蜜多心經》、《金剛經》、《阿彌陀經》等共40餘萬字。同時刻有佛像、菩薩像、飛天、供養人等。其餘29洞僅鑿開洞穴或磨光石面,尚未鐫刻。學者推測可能與9世紀時唐武宗禁佛有關。
從北齊至宋元時期,究竟刻有多少石經已無法統計。清代金石學者葉昌熾就他所掌握的拓片舉出41種,從北齊起,經隋唐五代至宋、遼、金、元,歷時800年,大小乘經皆有。而且認為,這些石經當時所刻必皆全帙,沉埋而未出者,蓋不知凡幾。