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SOI材料
SOI材料是新型矽基積體電路材料的簡稱。這類材料是為了適應航空航天電子、飛彈等武器系統的控制和衛星電子系統的需求而發展起來的。SOI是“Silicon-...
簡介 發展歷史 優缺點 製備技術 套用領域 -
SOI[矽技術]
SOI全稱為Silicon-On-Insulator，即絕緣襯底上的矽，該技術是在頂層矽和背襯底之間引入了一層埋氧化層。
簡介 發展歷史 結構功能 材料種類 套用範圍 -
絕緣體上矽
提供機械支撐。開始採用SOI材料做基板時，晶片製造商在生產過程中仍然能夠...的積體電路的性能。基於SOI的器件SOI晶圓製造的晶片由數百萬含電晶體的絕緣區...的超大規模積體電路（VLSI）晶片。同時，積體電路製造商利用SOI還能夠生產...
結構 基於SOI的器件 SOI 晶圓的製造 高級的工程基板 -
矽器件與集成技術研究室
研究，以超大規模積體電路設計技術和產品研製為主的研究室。目前致力於SOI...，在高可靠性的SOI積體電路器件研究方面具有雄厚的實力，處於國內領先地位，為國家微電子事業和重要套用領域做出了重大貢獻。 研究室下設SOI積體電路...
研究室簡介 學科方向 科研成果和所獲榮譽 -
鄒世昌
電路，用反應離子束加工成我國第一批閃光全息光柵，研究SOI材料並製成CMOS/SOI電路，發展了離子束增強沉積技術併合成了氮化矽、氮化鈦薄膜...1990年科技進步獎一等獎。（2）SOI技術：對SOI技術進行了系統的研究...
人物經歷 主要成就 社會任職 人物評價 -
王陽元
的增強效應以及CoSi2柵對器件抗輻照特性的改進作用。 在SOI/CMOS器件模型和電路模擬工作方面，提出了SOI器件浮體效應模型和通過改變器件參量抑制浮體效應的工藝設計技術，擴充了SPICE模擬軟體。在SOI/CMOS...
人物經歷 社會任職 主要成就 研究課題 人物轉折 -
張興[北京大學教授]
積體電路器件與工藝基礎研究(2006-2011年)系統晶片(System...MOS器件、CMOS工藝和SOI技術的研究，取得了一系列富於創新的科研成果...) 開發了系列深亞微米SOI器件模型和CMOS/SOI電路模擬軟體，在國內...
個人簡介 個人簡歷 主講課程 主要科研項目 曾獲獎項 -
單晶矽片
的積體電路越多，晶片的成本也就越低。但大尺寸晶片對材料和技術的要求也越高...工藝與矽工藝相容。主要的矽基材料包括SOI（絕緣體上矽）、GeSi和應力矽。目前SOI技術已開始在世界上被廣泛使用，SOI材料約占整個半導體材料...
基本概念 結構 用途 市場前景 發展趨勢 -
單晶矽
，晶片的成本也就越低。但大尺寸晶片對材料和技術的要求也越高。單晶矽按晶體...的發展和延續，其器件工藝與矽工藝相容。主要的矽基材料包括SOI（絕緣體上矽）、GeSi和應力矽。SOI技術已開始在世界上被廣泛使用，SOI材料約占...
基本概念 發展現狀 半導體 主要用途 研究趨勢 -
浮體效應
）是在SOI技術中實現的電晶體與體勢（body potential）相關的效應...路上都有其優勢。此外，在SOI晶圓（SOI wafer）本身襯底的阻抗值...浪費；SOI可防止電子流失，與補強一些原本Bulk wafer中CMOS...
簡介 原理 SOI 動態隨機存取存儲器
