LIGA技術

LIGA技術是一種利用同步輻射X射線製造三維微器件的先進制造技術，它包括塗光刻膠、X 光曝光、顯影、微電鑄、去除光刻膠、去除隔離層以及製造微塑鑄模具、微塑鑄和第二次微電鑄等多道工序,用此技術可以進行微器件的大批量生產。 LIGA 是德文的製版術Lithographie,電鑄成形Galvanoformung 和注塑Abformung 的縮寫。自20世紀80年代德國卡爾斯魯厄原子核研究所為製造微噴嘴創立LIGA技術以來，對其感興趣的國家日益增多，德、日、美相繼投人巨資進行開發研究。該技術被認為是最有前途的三維微細加工方法,具有廣闊的套用前景。

與傳統微細加工方法相比，用LIGA技術進行超微細加工有如下特點

1.可製造有較大深寬比的微結構。

2.取材廣泛，可以是金屬、陶瓷、聚合物、玻璃等。

3.可製作任意複雜圖形結構，精度高。

4.可重複複製,符合工業上大批量生產要求，成本低。