簡介
CF4是分子式,四氟化碳(Carbon tetrafluoride),亦稱全氟化碳
化學性質(特性)
相對分子量88.00。在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，揮發性較高，是最穩定的有機化合物之一，不易溶於水。在900℃時，不與銅、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶於水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時，會分解產生有毒氟化物。
物理性質 熔點-183.6℃，
沸點-128.1℃，
液體密度（-130℃）1.613g/cm3，
液體折光率（-173℃）1.515，
固體轉變點72.2K，
臨界溫度-45.67℃，
臨界壓力3.73MPa，
臨界密度7.1dm3/mol，
標準摩爾生成焓-932.31 kJ/mol，
標準摩爾生成熵261.04J/（mol﹒K），
標準摩爾自由能-929.84 kJ/mol，
標準摩爾生成自由能-887.41 kJ/mol。
市場價格：
約260元/千克
套用
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體，可廣泛套用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對於矽和二氧化矽體系，採用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶矽柵極上的二氧化矽薄膜時很有用。
在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、雷射技術、氣相絕緣、低溫製冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
由於化學穩定性極強，CF4還可以用於金屬冶煉和塑膠行業等。
四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學家用於超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功，在275米到366米的深度內，小白鼠仍可安全脫險。
