R14

R14

超低溫製冷劑R14。R-14製冷劑,別名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等,中文名稱四氟化碳、全氟化碳,英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14屬於fc類物質——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應;目前對於R14製冷劑的生產、銷售以及在新製冷設備上的初裝、售後設備上的再添加均沒有限制。

主要用途:

r14 鋼瓶 r14 鋼瓶

R-14作為一款特種超低溫製冷劑,主要套用於要求溫度非常低的深冷設備中(包括科研製冷、醫用製冷等),R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。

四氟化碳(四氟甲烷)是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛套用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、雷射技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

理化性質:

(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ),亦稱四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。

相對分子量:88.00。

在常溫下,四氟甲烷是無色、無臭、不燃,不溶於水的可壓縮性氣體。

沸點:-128℃,熔點:-183.6℃。

液體密度(-130℃)1.613g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74Mpa,蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa,介電常數(25℃,0.5Mpa)1.0006。揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,在900攝氏度時,不與鋼、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶於水,在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時, 會分解產生有毒氟化物,危險性類別為第2.2類不燃氣體。

包裝運輸:

四氟甲烷對金屬、合金不腐蝕,可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運,充瓶壓力通常低於12.5Mpa,按壓縮氣體運輸,鋼瓶每五年檢驗一次,國外規定可用汽車、火車、輪船和飛機運輸,國內目前無規定。鋼瓶包裝(14MPa)(DOT-3AAGB-5099),閥門(CGA-580/590,QF-2),32kg/48.8L,30kg/43.3L ,5kg/8L,2.5kg/4L。

質量標準:

產品質量標準(QUALITY STANDARD FOR CF4)

指標名稱 高純級 優級品 一級品
含量,%(v/v) ≥ 99.99 99.9 99
氮氣,%(v/v) ≤ 0.002 0.03 0.3
氧氣,%(v/v) ≤ 0.0005 0.01 0.1
水份,ppm ≤ 5 5 10
二氧化碳,ppm ≤ 5 10 800
氟化碳,ppm ≤ 15 20 -
酸度,(HF)ppm ≤ 0.1 1 -
六氟化硫,ppm ≤ - - 600

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