簡介
離子密度-脈衝真空放電離子密度的測量，由於採用脈衝放電沉積技術能夠克服連續電弧離子鍍沉積時產生的液滴及負偏壓放電的缺點,特別是它在鍍制類金剛石薄膜中顯示出來的獨特性能。
離子密度-銅離子
通常，銅離子在水溶液中實際上是以水合離子的形式存在的，水合銅離子呈藍色，所以我們常見的銅鹽溶液大多呈藍色。而在氯化銅的溶液中，不僅有水合銅離子，還有氯離子Cl-與銅離子結合形成的四氯合銅絡離子，該離子的顏色為黃色。根據光學原理我們知道，藍色和黃色的混合色為綠色，這就是為什麼我們常見的一般濃度的氯化銅溶液呈綠色的原因。如果我們向氯化銅溶液中加水，則溶液中氯離子濃度變小，水合銅離子相對增多，溶液主要呈現水合銅離子的顏色（藍色）。所以我們見到的氯化銅稀溶液一般呈藍色。同樣道理，在硝酸跟銅的反應中，稀硝酸與銅反應所得的溶液呈藍色，而濃硝酸與銅反應所得溶液呈綠色。這是因為，濃硝酸與銅反應時，產生大量的二氧化氮氣體，二氧化氮溶解在溶液中呈黃色，二氧化氮的黃色跟水合銅離子的藍色混合就出現了我們看到的綠色。
離子密度-脈衝真空放電離子密度的測量
由於採用脈衝放電沉積技術能夠克服連續電弧離子鍍沉積時產生的液滴及負偏壓放電的缺點,特別是它在鍍制類金剛石薄膜中顯示出來的獨特性能:不含氫和硬度高,使其在薄膜沉積技術中越來越受到廣大研究者的重視.為了更深入地研究薄膜的沉積工藝和薄膜性能之間的關係,迫切需要對脈衝真空放電電漿的微觀參數進行深入透徹的研究,如離子密度及其空間分布等.本文介紹了測量脈衝真空電弧離子源離子密度的方法,並採用該方法測量了脈衝真空電弧離子源離子密度及其空間分布,分析和研究了影響離子空間分布的各種參數。
