1964年10月生,博士,研究員,博士生導師。應光室短波光學學科方向學術帶頭人,863-804主題X光雷射研究專題專家組成員。1987年畢業於浙江大學光學儀器工程學系;1990年在長春光機所獲碩士學位;2003年在長春光機所獲博士學位。主要從事紫外、極紫外-軟X射線光學技術研究。
完成了國內第一套極紫外投影光刻原理裝置的設計與研製,獲得了極紫外投影光刻複製的150nm線寬掩模圖形,實現了極紫外投影光刻的原理性貫通。在“日盲”紫外成像探測技術研究方面,主持研製了“日盲”紫外/可見光雙譜段探測定位系統,完成了總體方案設計、光學系統設計、深度截止“日盲”型紫外帶通濾光片膜繫結構設計,研製成功我國首台可在日光條件下工作的“日盲”紫外/可見光雙譜段成像探測定位儀,為我國的電力工業部門提供了一種全新的高壓電氣設備電暈探測手段。
近年完成國家自然科學基金重點項目、863項目、省傑出青年基金項目、國防科工委民口配套項目、電力工業部門項目各一項;培養博士研究生4名、碩士研究生5名;申請發明專利3項;發表學術論文二十餘篇。
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